$SrTiO_3/RuO_2$ 박막 형성시 플라즈마 가스 주입비의 영향
(The effects of oxygen partial pressure on $SrTiO_3$ films with $RuO_2$ bottom electrode)
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- 한국결정성장학회지
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- 제8권2호
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- pp.286-291
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- 1998