• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.08a
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• pp.204-204
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• 2010

본 연구에서는 Glass 기판 위에 우수한 광 투과도를 갖는 ZnO 기반의 Thin Film Transistor (TFT)를 제작하였으며, 이에 대한 전기적 및 광학적 특성을 분석하였다. 소자 구조의 제작은 Maskless Aligner를 이용한 Optical lithograph법을 이용하였다. 채널층은 ZnO로 하였고 Source/Drain 영역은 GaZnO로 하여 전체구조가 ZnO 기반의 homogeneity를 유지하게 하였다. 이때 Gate 절연막은 Bi1.5Zn1Nb1.5O7와 SiO2 두가지 종류로 하여 각각의 특성을 비교하였다. 본연구에서 TFT구조의 각 층은 모두 r. f. 마그네트론 스퍼터법으로 증착하였다. 제작된 TFT들은 채널층 및 절연막 형성 등에 관여된 세부적 실험변수의 변화에 관계없이 약 75% 이상의 우수한 광투과도 특성을 보였다. 전기적 특성 평가에서, 제작된 TFT들은 전반적으로 비교적 낮은 문턱전압과 높은 이동도를 보였다. 하지만, 트랜지스터의 전기적 전송 특성의 주요 인자들인 채널-이동도, 스위칭, 누설 및 이력 등은 ZnO 채널층 혹은 Bi1.5Zn1Nb1.5O7 절연막 형성 시 주입되는 O2 가스의 분압에 의존하는 것이 관측되었다. 이를 통하여 트랜지스터의 각 세부 영역의 구조 및 형성 조건이 트랜지스터의 전기적 특성에 미치는 영향과 상관관계에 대하여 논의한다.

• Journal of the Korean Institute of Illuminating and Electrical Installation Engineers
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• v.13 no.1
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• pp.21-30
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• 1999

The research for retecting of insulating deterioration in transforrrer has been studied from long ago and the analysis rrethod of combustible gas which is included in insulating oil has been used Recently the spreading effect of the accident is larger than before because of high voltage and large capacity, so on-line detecting system is needed and the study for the estimation of partial discharge signals location has begun. This thesis is the study for the sermating noise signal that is the greatest problem in ultrasonic signal measurement which is one of the method of estimation of partial discharge signals location. Because we can measure the number and location of signal, it is rossible to distinguish between the signal of partial discharge and the external noise. Therefore, we can devolop the credibility of detecting of insulating deterioration in transformer.former.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2001.11a
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• pp.201-204
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• 2001

본 논문에서는 전력케이블, 전력용 변압기 및 가스 절연차단기와 같은 전력설비의 열화로 인한 방전현상 검출을 위해서 간섭계형 광섬유 센서를 제작하고, 방전 현상을 측정하였다. 광섬유 센서는 아크릴과 알류미늄 광섬유를 수회 감은 맨드릴형으로 선택하였으며, 간섭계는 Sagnac 간섭계를 선택하여 실험하였다. 방전현상은 절연유내에 방전모의셀을 설치하여 방전현상을 일으켰고, 광섬유 센서로 방전신호를 검출하였다.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2008.04b
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• pp.174-175
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• 2008

초고압 변전소의 주요설비인 가스절연개폐장치(GIS: Gas Insulated Switchgear)의 신뢰도를 높이기 위해서는 절연체 내부에서 발생하는 부분방전을 사전에 진단하여 예방을 하는 것이 중요하다. 현재 이에 대한 진단장치 개발이 이루어지고 있으며 GIS On-line System 장치 및 휴대용 진단장비가 국내에서 제작되고 있으나 On-line System은 고가의 비용이 들고 휴대용 진단장비는 상시감시가 어렵다는 단점을 가지고 있다. 이러한 단점을 보완하기 위해서 본 연구내용에서는 저가이면서 상시 PD 감시능력을 가진 PD 카운터에 대해 설명하고 GIS 현장에 실제 적용한 자료와 휴대용 진단장비와 함께 비교 적용한 자료를 가지고 PD 카운터의 특성을 확인하는데 역점을 두었다.

• Electrical & Electronic Materials
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• v.9 no.5
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• pp.483-489
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• 1996

Power transformer have many unsymmetrical structure and electric field is enhanced in that area. Those unsymmetrical area are not covered oftenly by solid insulating material which is used as a framework specially in gas transformer. By that result there is a possibility to decrease the total insulation class of the transformer. So in this study the electrical characteristic of $FC+SF_6$ mixture gas which is used as coolants for large power gas insulated transformer and its effects on electrical characteristics of structural material are investigated. Also breakdown characteristic with the tension of taping and curvature of the coil are studied which could be used as a design factor of large power transformer.

• Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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• 2008.11a
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• pp.89-90
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• 2008

본 연구에서는 PECVD(Plasma Enhanced CVD) 에서 사용하는 유해 가스인 $SiH_4$ 대신에 유기 사일렌 반응 물질인 TEOS(Tetraethyl Orthosilicate, Si$(OC_2H_5)_4)$를 이용하여 상압 화학 기상 증착법 (Atmospheric Pressure CVD, APCVD)으로 실리콘 산화막을 증착하고 박막의 조성과 특성 및 화학적, 전기적 특성들을 살펴보았다. TEOS 반응원료를 이용한 CVD 공정에서 공정 온도를 낮추기 위한 방법으로 강력한 산화제인 오존을 이용하여 공정온도를 $400^{\circ}C$이하로 낮췄으며, 유리기판 상의 ELA(Excimer Laser Annealing)처리된 다결정 실리콘 기판에 트랜지스터 소자를 제작하고, 게이트 절연막으로의 전기적 특성을 살펴보았다.

• Journal of the Microelectronics and Packaging Society
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• v.5 no.2
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• pp.7-12
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• 1998

감광성 BCB를 사용한 MCM-D기판에 신뢰성있는 비아형성을 위하여 BCB의 공정 특성과 C2F6를 사용한 플라즈마 cleaning 영향을 분석하였다. 절연막, 금속배선재료로 각각 감광성 BCB, Cu를 사용하여 MCM-D 기판을 제작 분석한 결과 BCB는 soft bake 후 초기 두께의 50%정도 두께 손실이 있었으며 해상도는 15um이었다. BCB층에 비아 형성후 C2F6 가스로 플라즈마 cleaning 하고 AES로 비아표면을 분석한 결과 유기물 C는 검출되지 않은 반면 플라즈마 cleaning을 하지 않은 비아를 분석한 결과 유기물 성분의 C가 많이 검출되었 고 Ar 스퍼터에 의해서도 완전히 제거되지 않았다. 따라서 감광성 BCB를 절연막으로 사용 한 MCM-D 기판 제작공정에서 비아 형성후 C2F6를 이용한 플라즈마 cleaning의 필요성을 확인하였다.

• Journal of Industrial Technology
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• v.34
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• pp.67-70
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• 2014

In this paper, we propose a diagnosis algorithm for 25.8kV $N_2$ insulated Pad-mounted Switchgear in oder to improve reliability by preventing of fault in advance. The proposed algorithm can diagnose the problems of Pad-mounted Switchgear such as gas leakage and VI(Vacuum Interrupter) trouble (contact abrasion, coil aging etc.) by using pressure sensor, stroke sensor and coil current sensor.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2015.07a
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• pp.1181-1182
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• 2015

본 논문에서는 초고압 가스절연개폐장치(GIS, Gas Insulated Switchgear) 내 고체 절연물인 스페이서에서 삼중점의 전계를 완화하기 위한 쉴드링 설계 방법과 그에 따른 효과를 분석하였다. 이를 위해 420kV GIS 스페이서를 축대칭 모델로 단순화하여 전계해석을 수행하였으며, 쉴드링 직경에 따른 삼중점 전계세기 변화를 확인하였다. 또한 쉴드링과 스페이서 계면 사이의 최소 이격거리를 계산하여 쉴드링의 최적 직경을 구하였다. 추가적으로, 새로운 설계 기법인 Double 쉴드링 기법을 소개하고 기존의 쉴드링이 하나인 경우와 비교 분석하여 그 효과를 확인하였다.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2007.07a
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• pp.1457-1458
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• 2007

본 논문은 전기에너지의 안정적인 공급을 위한 가스절연개폐장치(Gas Insulated Switchgear; GIS)의 안정성과 신뢰성을 확립하기 위해 GIS 내부 결함에 의한 사고의 발생을 미리 진단하는 절연진단용 UHF 대역($0.5\;{\sim}\;1.5$ GHz) 동축형 밸런 부착 안테나를 제안하였다. 동축형 밸런이 부착된 안테나를 GIS에 장착하였을 때 반사계수의 주파수특성을 실험치와 비교 검토하였다.