$Bi_{3.25}La_{0.75}Ti_{3}O_{12}$ (BLT) 박막의 CMP 메커니즘 연구
(A Study on CMP Mechanism of $Bi_{3.25}La_{0.75}Ti_{3}O_{12}$ (BLT) Thin Films)
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- 대한전기학회:학술대회논문집
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- 대한전기학회 2006년도 제37회 하계학술대회 논문집 C
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- pp.1450-1451
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- 2006