Electrical and structural investigation of Nd-doped $TiO_2$ thin films grown on $RuO_2$ substrate by Atomic Layer Deposition
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- 한국진공학회:학술대회논문집
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- 한국진공학회 2007년도 제33회 하계학술대회 초록집
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- pp.294-294
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- 2007