• 제목/요약/키워드: $H^{+}$ pump

검색결과 775건 처리시간 0.035초

보조펌프(backing pump)의 배기용량에 따른 터보분자펌프(TMP) 배기속도 측정에 관한 연구

  • 김완중;강상백;고문규;정완섭;임종연
    • 한국진공학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국진공학회 2011년도 제40회 동계학술대회 초록집
    • /
    • pp.362-362
    • /
    • 2011
  • 터보분자펌프(turbo-molecular pump: TMP)는 고진공펌프 중의 하나로, 반도체/디스플레이 등 첨단 공정에서 진공 환경을 조성하는 핵심장비이다. 터보분자펌프(TMP)의 특성평가는 세계 여러 나라의 표준제정기구에서 제정한 국제규격에 그 기반을 두어, 한국표준과학연구원 진공기술 센터에서는 터보분자펌프(TMP) 특성평가시스템을 자체 설계/제작하여 그 신뢰성을 확인하기 위해 개발품 및 상용품 평가에 주력하고 있다. 터보분자펌프(TMP)는 보조펌프(backing pump)의 지원을 받으므로 보조펌프(backing pump) 용량에 따른 터보분자펌프(TMP)의 배기속도를 측정하고자 한다. 국제규격에서 제시하는 보조펌프 (backing pump)의 용량이 일정이상 작을 경우, 터보분자펌프(TMP)의 배기속도 및 압축비에 대해 감소함을 제시한다. 이 영향은 전체 압력 범위에서 보조펌프(backing pump)의 배기속도가 일정 용량 이상이면 터보분자펌프(TMP)의 배기속도에 영향이 없음을 제시하며, 이에 본 연구에서는 국제규격에서 제시하는 보조펌프(backing pump) 용량에 대해 서로 다른 조건에 맞추어 터보분자 펌프(TMP)의 배기속도에 미치는 영향을 연구하고자 한다. 본 연구에서는 100m3/h, 10m3/h 의 서로 다른 배기속도를 가진 보조펌프(backing pump)를 선정하여 분자량이 다른 가스(N2, He, Ar 등)에 대한 압축비의 변화와 배기속도 측정에 관해 상관 관계를 제시하며, 100m3/h, 10m3/h 의 서로 다른 배기속도를 가진 보조펌프(backing pump)에 따른 터보분자펌프(TMP)의 배기속도 및 운전성능을 제시하고자 한다.

  • PDF

펌프 장기손상 메커니즘 규명을 위한 진동영향 평가 (The vibration impact assessment for long-term damage mechanism of a pump)

  • 김태현;김형석;김동건;김원태;한병섭
    • 한국소음진동공학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국소음진동공학회 2009년도 추계학술대회 논문집
    • /
    • pp.441-445
    • /
    • 2009
  • The most of the goals of pump designers and users are efficient operation and productivity. But the safety-grade pumps in nuclear power plants are needed to operate continuously for an essential condition of system operation. Also, most of the rules and regulatory standards that have been prepared for nuclear pumps are dedicated to achieve public safety. The study examined pump vibration in a pump outlet flow and distinguished the regions of pump vibration frequency cause by cavitation and recirculation. The study made a counterproposal in determination of pump outlet flow so that the discharge flow will be able to minimize the long-term damage of the pump.

  • PDF

소형 환단면 선형유도전자펌프 설계를 위한 전산 프로그램 개발 (Development of Computer Program for Design of the Small Annular Linear Induction EM Pump)

  • 김희령;남호윤;황종선
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국전기전자재료학회 2002년도 춘계학술대회 논문집 센서 박막재료 반도체재료 기술교육
    • /
    • pp.137-140
    • /
    • 2002
  • EM(ElectroMagnetic) pump is used for the purpose of transporting liquid sodium coolant with electrical conductivity in the LMR(Liquid Metal Reactor). In the present study, computer program for the pilot annular linear EM pump has been developed for the maximum flowrate with 200 l/min and maximum developing pressure with 3 bar. Firstly, Balance equation is induced by the equivalent circuit method which is commonly employed to analyze linear induction machines and the calculation of the hydraulic pressure drop. Then, design equation is converted to the computer program and optimum pump variables are determined by this code. The code is verified by the comparative analysis with the characteristic of the commercialized pump.

  • PDF

자동변속기용 베인펌프의 토출압 노이즈 특성 해석 (The Analysis of Discharge Pressure Noise Characteristics Of Vane Pump for Automatic Transmission)

  • 최윤용;최호종;이상현;정우진
    • 유공압시스템학회:학술대회논문집
    • /
    • 유공압시스템학회 2010년도 춘계학술대회
    • /
    • pp.33-38
    • /
    • 2010
  • As for an oil hydraulic vane pump of vehicle hydraulic systems, the highest of planning technique required by the acquisition of optimum profile data which can be available to predict noises and vibrations. Pressure pulsation may result in considerable vibration and noise of pump component as well as cavitation in hydraulic system. The influences of the discharge pressure and rotating speed of the vane on the dynamic pressure in chamber surrounding a vane have been investigated. It is very important to predict pressure pulsation in vane pump. This paper presents analysis of technique of vane pump for automatic transmission. The predicted result using AMESim model were good agreement with the experimentally obtained results.

  • PDF

$MgO/H_2O$ 계 화학식 열펌프의 열적 특성에 관한 연구 (A Study on the Thermal Characteristics of a $MgO/H_2O$ Chemical Heat Pump)

  • 권오경;윤재호;김정욱;이진호
    • 설비공학논문집
    • /
    • 제16권1호
    • /
    • pp.34-41
    • /
    • 2004
  • The chemical heat pump based on the Dehydration/Hydration process with a MgO/$H_2O$ system has been researched. The reactor bed could be expected to store the heat around 200∼37$0^{\circ}C$ by the dehydration reaction and to release the heat around 100∼16$0^{\circ}C$ by the hydration reaction under the heat amplification mode operation. The heat output rate of the heat pump system was evaluated using the experimentally determined parameters. The results show that 6∼50 W/kg of heat output and 0.5∼0.8 of heat recovery ratio are attainable. The heat pump will be applicable for a load leveling in a co-generation system by chemical storage of surplus heat at low heat demand and by supplying heat in the peak load period.

비 막힘형 수중 펌프 임펠러 형상이 펌프 성능에 미치는 영향 (Effects of Impeller Shape of Submersible Nonclogging Pump on its Performance)

  • 윤정의
    • 대한기계학회논문집B
    • /
    • 제36권12호
    • /
    • pp.1201-1207
    • /
    • 2012
  • 본 연구에서는 15kW 모터로 구동되는 $5m^3$/min의 유량을 고효율로 공급할 수 있는 2엽 비막힘형 수중 펌프의 임펠러를 설계하는 것을 목표로 임펠러 출구 위치 변화($h_I$), 출구 폭($b_2$) 및 허브 프로파일이 펌프 성능에 미치는 영향을 상용 해석용 프로그램 ANSYS CFX를 사용한 전산해석을 통해 수행하였다. 해석 결과, 임펠러 출구 위치 변화($h_I$) 및 출구 폭($b_2$)이 증가하면 양정 및 축동력의 경우는 $h_I$, $b_2$와 함께 지속적으로 증가하지만 효율의 경우는 $h_I$=38 mm, $b_2$=55 mm 까지만 증가하며, 그 이상의 값에서는 일정한 값을 가짐을 보여준다. 그리고 허브 프로파일의 변화는 상대적으로 임펠러 성능에 큰 영향을 미치지는 않는다.

사판식 가변 용량형 액셜 피스톤 펌프의 일정출력 레귤레이터 특성 시뮬레이션 (Simulation on Characteristics of Constant Power Regulator Systems in Variable Displacement Axial Piston Pump)

  • 이지민;박성환;박용호;이현희
    • 동력기계공학회지
    • /
    • 제15권2호
    • /
    • pp.5-12
    • /
    • 2011
  • In this study, modeling and numerical simulations has been performed to investigate performance characteristics of constant power regulator system for swash plate type axial piston pump. The commercial numerical simulation software, AMESim was applied for analyzing the dynamic behavior of constant power regulator system of swash plate axial piston pump. The validity of simulation model of constant power regulator system is verified by comparing simulation results with experiments. Also, the behavior of main components of constant power regulator system such as spool, sleeve and counterbalance piston is investigated using the results of computer simulation.