In-line APCVD에 의해 제작된 $SnO_2(:F)$ film의 특성
(Properties of fluorine-doped $SnO_2$ films perpared by the in-line APCVD system)
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- 한국결정성장학회지
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- 제4권2호
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- pp.157-168
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- 1994