• 제목/요약/키워드: $C_3F_6$ gas

검색결과 136건 처리시간 0.022초

고정화 액막(BMIBF4/PVDF)에 의한 디플루오로-클오로메탄과 헥사플루오로프로필렌의 청정분리 (Clean Separation of Difluoromonochloromethane(R22)/Hexafluoropropylene(HFP) by Using Liquid-Supported Membrane(BMIBF4/PVDF))

  • 최평호;김철웅;김범식;이정민;구기갑
    • 청정기술
    • /
    • 제9권4호
    • /
    • pp.169-177
    • /
    • 2003
  • 온도(0 to $30^{\circ}C$)와 압력(4 bar까지)의 함수로서 이온성액체인 buthylmethylimidazolium tetrafluoride ($BMIBF_4$)에 관한 디플루오로클로로메탄($CHCIF_2$, R22)과 헥사플루오로프로필렌($C_3F_6$, HFP) 가스의 용해도 실험을 실시하였는데, R227가스의 용해도는 온도가 낮거나, 압력이 증가할수록 거의 선형적으로 증가한 반면, HFP 가스는 거의 용해도를 나타내지 않았다. 이어서 이 이온성액체를 고분자지지체인 polyvinylidenefluoride(PVDF)에 함침량을 달리하여 액막을 제조하였으며, 일정한 압력(3 atm)에서 가스분리막 장치를 사용하여 액막의 이온성액체 함침량 변화와 조업온도의 함수로 R22, HFP 및 $N_2$ 가스의 투과특성 실험을 실시하였다. 실험결과, R22의 투과도는 주로 이온성액체의 함침량에 의존하여 급격히 증가하였으며, HFP 및 $N_2$의 투가도는 거의 0에 가까운 매우 낮은 값을 나타내었다. 또한 R22의 확산계수 및 용해도계수는 조업온도가 낮거나 액막에서 이온성액체의 함침량에 비례하여 증가하였다. 결과적으로 R22에 관한 HFP가스의 선택도는 조업온도와 액막의 이온성액체 함침량에 의존하여 10-45배 정도까지 매우 높은 값올 나타내었다.

  • PDF

$BCl_3$ 계열 유도결합 플라즈마를 이용한 사파이어 기판의 식각 특성 (Plasma Etching Characteristics of Sapphire Substrate using $BCl_3$-based Inductively Coupled Plasma)

  • 김동표;우종창;엄두승;양설;김창일
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국전기전자재료학회 2008년도 추계학술대회 논문집 Vol.21
    • /
    • pp.363-363
    • /
    • 2008
  • The development of dry etching process for sapphire wafer with plasma has been key issues for the opto-electric devices. The challenges are increasing control and obtaining low plasma induced-damage because an unwanted scattering of radiation is caused by the spatial disorder of pattern and variation of surface roughness. The plasma-induced damages during plasma etching process can be classified as impurity contamination of residual etch products or bonding disruption in lattice due to charged particle bombardment. Therefor, fine pattern technology with low damaged etching process and high etch rate are urgently needed. Until now, there are a lot of reports on the etching of sapphire wafer with using $Cl_2$/Ar, $BCl_3$/Ar, HBr/Ar and so on [1]. However, the etch behavior of sapphire wafer have investigated with variation of only one parameter while other parameters are fixed. In this study, we investigated the effect of pressure and other parameters on the etch rate and the selectivity. We selected $BCl_3$ as an etch ant because $BCl_3$ plasmas are widely used in etching process of oxide materials. In plasma, the $BCl_3$ molecule can be dissociated into B radical, $B^+$ ion, Cl radical and $Cl^+$ ion. However, the $BCl_3$ molecule can be dissociated into B radical or $B^+$ ion easier than Cl radical or $Cl^+$ ion. First, we evaluated the etch behaviors of sapphire wafer in $BCl_3$/additive gases (Ar, $N_2,Cl_2$) gases. The behavior of etch rate of sapphire substrate was monitored as a function of additive gas ratio to $BCl_3$ based plasma, total flow rate, r.f. power, d.c. bias under different pressures of 5 mTorr, 10 mTorr, 20 mTorr and 30 mTorr. The etch rates of sapphire wafer, $SiO_2$ and PR were measured with using alpha step surface profiler. In order to understand the changes of radicals, volume density of Cl, B radical and BCl molecule were investigated with optical emission spectroscopy (OES). The chemical states of $Al_2O_3$ thin films were studied with energy dispersive X-ray (EDX) and depth profile anlysis of auger electron spectroscopy (AES). The enhancement of sapphire substrate can be explained by the reactive ion etching mechanism with the competition of the formation of volatile $AlCl_3$, $Al_2Cl_6$ or $BOCl_3$ and the sputter effect by energetic ions.

  • PDF

Effects of Supplementation of Mixed Cassava (Manihot esculenta) and Legume (Phaseolus calcaratus) Fodder on the Rumen Degradability and Performance of Growing Cattle

  • Thang, C.M.;Sanh, M.V.;Wiktorsson, H.
    • Asian-Australasian Journal of Animal Sciences
    • /
    • 제21권1호
    • /
    • pp.66-74
    • /
    • 2008
  • Two experiments were conducted to assess the effect of replacing a conventional concentrate with mixed cassava (Manihot esculenta) foliage and legume (Phaseolus calcaratus) foliage. In Exp. 1, three rumen fistulated crossbred cows were used for in sacco rumen degradability studies. In vitro gas production was also studied. In Exp. 2, 11 crossbred F2 heifers (Red Sindhi$\times$Holstein Friesian), with initial live weight of $129{\pm}6kg$ and aged six months, were allocated in a Completely Randomized Design (CRD) to evaluate a mixture (ratio 3:1) of cassava and legume foliage (CA-LE feed) as a protein source compared to a traditional concentrate feed (Control) in diets based on fresh elephant grass (Pennisetum purpureum) and urea treated rice straw ad libitum. The Control feed was replaced by the CA-LE feed at levels of 0% (Control), 40% (CA-LE40), and 60% (CA-LE60) based on dry matter (DM). The in sacco degradation of CA-LE feed was higher than Control feed (p<0.05). After 48 h incubation the degradation of CA-LE feed and Control feed was 73% vs. 58% of DM and 83% vs. 65% of CP, respectively. The gas production of CA-LE feed was also significantly higher than of Control feed during the first 12 h of incubation. The results of the performance study (Exp. 2) showed that the level of CA-LE feed in the concentrate had no effect on total dry matter intake (p>0.05), but live weight gains (LWG) in CA-LE40 and CA-LE60 were significantly higher (551 and 609 g/d, respectively) than in the Control group (281 g/d). The intake of CP was higher (p<0.05) for the treatments CA-LE40 and CA-LE60 (556 and 590 g/d, respectively) compared to that of Control (458 g/d), while there was no significant difference in ME intake. The feed conversion ratio was 16.8, 9.0 and 7.9 kg DM/kg LWG in Control, CA-LE40 and CA-LE60, respectively. The feed cost of CA-LE40 and CA-LE60 corresponded to 43% and 35%, respectively, of the feed cost of Control feed. The best results were found when CA-LE feed replaced 60% of DM in Control feed and considerably decreased feed cost. It is concluded that feeding cassava foliage in combination with Phaseolus calcaratus legume as a protein supplement could be a potentially valuable strategy which leads to reduced feed costs and a more sustainable system in smallholder dairy production in Vietnam.

열플라즈마에 의한 CFC의 분해공정 (Decomposition Process of CFC by Thermal Plasma)

  • 차우병;최경수;박동화
    • 공업화학
    • /
    • 제9권6호
    • /
    • pp.829-834
    • /
    • 1998
  • 환경문제와 관련하여 오존층 파괴의 주요 원인으로 알려진 CFC를 열플라즈마를 이용하여 완전하게 분해하였다. CFC113($C_2Cl_3F_3$)을 선정하여 열플라즈마 분해에서의 적절한 공정 조건을 검토하였다. 실험에 앞서, 상압에서 300 K~5000 K범위에서 CFC113, $H_2$, $O_2$간의 열역학적 화학평형조성을 고찰함으로써 CFC113의 분해 생성의 경향을 알 수 있었다. 실험은 상압, 상온에서 CFC113과 $H_2$, $O_2$혼합가스의 주입량, 그리고 냉각관 직경의 변화에 따른 분해생성물을 조사하였고 이를 기체크로마토그래피로 분석하였다. 그 결과, 각각 99.99%이상의 분해율을 보였다. CFC113/$H_2$=1/3에서 $O_2$비가 증가할수록 CO로의 전화율은 감소하였다. CFC113/$O_2$=1/1, 1/1.5, 1/2에서 $H_2$비가 3이상 증가될수록 CO로의 전화율이 증가하였다. 그 이유는 $H_2$첨가가 증가할수록 환원분위기에서 $H_2O$가 생성되고 $CO_2$생성량이 감소하기 때문이다. DC power가 증가하여도 CO로의 전화율 변화는 차이가 없었으며, 총유량이 증가할 경우 CO전화율이 약간 감소하는 경향을 보였다. 냉각관의 직경을 8 mm에서 4 mm로 작게 할 경우 빠른 냉각속도로 인하여 CO로의 전화율이 증가하였다.

  • PDF

GC-MS 를 이용한 하천수 중 Bisphenol계 화합물의 동시분석 및 모니터링 (Simultaneous Determination and Monitoring of Bisphenols in River Water using Gas Chromatography-Mass Spectrometry)

  • 김지현;최정희;강태우;강태구;황순홍;심재한
    • 한국환경농학회지
    • /
    • 제36권3호
    • /
    • pp.154-160
    • /
    • 2017
  • 본 연구는 하천수 중 bisphenol계 화합물 종 6 (BPA, BPB, BPC, BPE, BPF, BPS)을 동시분석하기 위하여 GC-MS를 이용하였다. 또한 최적의 전처리 방법을 확립하고자 SPE 및 LLE법을 이용하여 표준시료로부터 검량선의 직선성, MDL, LOQ, 정확도 및 정밀도를 비교하였다. SPE 및 LLE 전처리 방법에 의한 MDL은 각각 $0.0005{\sim}0.0234{\mu}g/L$$0.0037{\sim}0.2034{\mu}g/L$, LOQ는 각각 $0.0015{\sim}0.0744{\mu}g/L$$0.0117{\sim}0.6477{\mu}g/L$, 검량선의 결정계수($r^2$)는 모두 0.9969이상 정확도는 각각 93.2~108%와 97.4~120%, 정밀도는 각각 1.7~4.6%와 0.7~6.5%범위로 만족한 정도관리 결과를 얻었다. 하지만 SPE법에 의한 MDL 및 LOQ 값은 LLE법보다 약 4~45배 정도 높은 감도를 보였고, 특히 BPA의 경우는 다른 화합물들보다 45배 정도 높았다. 따라서, 본 연구에서는 SPE법을 적용하여 하천수 시료를 분석하였고, 조사지점은 본류 7개, 지류 6개, 하수종말처리장 2개 지점을 선정하였다. Bisphenol계 화합물 중에서 BPB, BPC, BPE, BPF 및 BPS는 모두 불검출 되었으나, BPA 농도는 $0.0095{\sim}0.2583{\mu}g/L$ 범위로 본류 $0.0166{\sim}0.0810{\mu}g/L$, 지류 $0.0095{\sim}0.2583{\mu}g/L$, 하수종말처리장$0.0352{\sim}0.1217{\mu}g/L$으로 미량 수준이었다.

산소분압(酸素分壓)에 따른 Carboxyhemoglobin의 해리양상(解離樣相) -성인혈(成人血)과 태아혈(胎兒血)의 비교(比較)- (Carboxyhemoglobin Dissociation at the Various Partial Pressures of Oxygen -Comparison between Adult and Fetal Bloods-)

  • 박병주
    • Journal of Preventive Medicine and Public Health
    • /
    • 제15권1호
    • /
    • pp.145-151
    • /
    • 1982
  • 산모(産母)와 태아(胎兒)에서의 CO 배출양상(排出樣相)의 차이(差異)가 hemoglobin의 CO와의 결합력(結合力)의 차이(差異)에서 기인(起因)된 것인지의 여부(與否)를 산소분압(酸素分壓)에 따른 HbCO의 해리양상(解離樣相)으로써 규명(糾明)하고 이를 토대(土臺)로 임신부(姙娠婦) 및 영아가 CO에 중독(中毒)되었을 때의 적절(適切)한 산소치료방식(酸素治療方式)을 모색(模索)하고자 본(本) 실험(實驗)을 실시(實施)하여 다음과 같은 성적(成績)을 얻었다. 1. 성인혈(成人血)과 태아혈(胎兒血)의 total hemoglobin량(量)은 각각(各各) $16.1{\pm}0.50gm%,\;15.7{\pm}0.32gm%$였으며 fetal hemoglobin 비율(比率)은 각각(各各) $1.2{\pm}0.15%,\;72.7{\pm}3.01%$ 였다. 2. 성인혈(成人血)과 태아혈(胎兒血)을 100% HbCO로 포화(飽和)시킨 뒤 일반대기(一般大氣), 100% $O_2$, 3기압산소(氣壓酸素)에 30분간(分間) 폭로(曝露)시킨 직후(直後)의 혈중(血中) HbCO 포화도(飽和度)는 성인혈(成人血)에서 각각(各各) 96.7%, 70.9% 및 52.8%였으며 태아혈(胎兒血)에서 각각(各各) 98.5%, 76.1% 및 62.2%로 감소(減少)하여 3기압산소(氣壓酸素)에서 가장 현저(顯著)한 감소(減少)를 보여 HbCO의 해리(解離)는 산소분압(酸素分壓)에 비례(比例)함이 확인(確認)되었으며 또 전(全) 실험군(實驗群)에서 성인혈(成人血)보다 태아혈(胎兒血)의 HbCO 해리(解離)가 늦은 양상(樣相)을 보였다. 3. 실험군(實驗群)에 대(對)한 각(各) 산소분압별(酸素分壓別) 폭로(曝露)가 끝난 후(後) $36.5^{\circ}C$의 일반대기하(一般大氣下)에서 시간경과(時間經過)에 따른 성인혈(成人血)과 태아혈중(胎兒血中) HbCO의 해리양상(解離樣相)은 거의 비슷하게 완만(緩慢)하였다. 4. 이상(以上)의 소견(所見)으로 미루어 볼 때 임신부(姙娠婦)의 CO 중독(中毒)은 산모(産母)보다 태아(胎兒)에서 더 큰 위해(危害)를 초래(招來)할 가능성(可能性)이 크며 또 HbF의 구성점유율(構成占有率)이 높은 6개월(個月) 이하(以下)의 영아에서도 그 위해도(危害度)가 클 것으로 간주(看做)된다. 따라서 임신부(姙娠婦) 또는 생후(生後) 6개월(個月) 이하(以下)의 영아가 CO 중독(中毒)되었을 때는 고압산소요법(高壓酸素療法)이 효과적(效果的)인 치료법(治療法)으로 보이며 그 치료시간(治療時間)을 성인환자(成人患者)에 있어서의 그것보다 좀 더 길게하는 것이 CO 중독(中毒)에 의한 위해(危害)를 감소(減少)시켜 줄 것으로 기대(期待) 된다.

  • PDF