물리 증착법을 이용한 나노선 마이크로 LED 제작

  • 민정욱 (국립금오공과대학교 광시스템공학과)
  • Published : 2024.06.30

Abstract

Keywords

Acknowledgement

본 기고문의 작성에는 한국연구재단(No. RS-2023-00244550과 No. 2009-0082580)의 지원을 받았습니다.

References

  1. B. Lu, L. Wang, Z. Hao, Y. Luo, C. J. Chen, M. C. Wu, J. Tang, J. K. Kim, E. F. Schubert, Laser & Photonics Reviews 2022, 16, 2100433.
  2. a)R.-H. Horng, C.-X. Ye, P.-W. Chen, D. Iida, K. Ohkawa, Y.-R. Wu, D.-S. Wuu, Scientific reports 2022, 12, 1324
  3. b)J. M. Smith, R. Ley, M. S. Wong, Y. H. Baek, J. H. Kang, C. H. Kim, M. J. Gordon, S. Nakamura, J. S. Speck, S. P. DenBaars, Applied Physics Letters 2020, 116
  4. c)P. Tian, J. J. McKendry, Z. Gong, B. Guilhabert, I. M. Watson, E. Gu, Z. Chen, G. Zhang, M. D. Dawson, Applied Physics Letters 2012, 101.
  5. X. Cao, G. Dang, A. Zhang, F. Ren, R. Shul, L. Zhang, R. Hickman, J. Van Hove, Materials Research Society Internet Journal of Nitride Semiconductor Research 2000, 5, 558.
  6. A. Pandey, M. Reddeppa, Z. Mi, Light: Advanced Manufacturing 2024, 4, 519.
  7. a)J.- W. Min, D. Priante, M. Tangi, G. Liu, C. H. Kang, A. Prabaswara, C. Zhao, L. Al-Maghrabi, Y. Alaskar, A. M. Albadri, Journal of Nanophotonics 2018, 12, 043511
  8. b)H. Zhang, J.-W. Min, P. Gnanasekar, T. K. Ng, B. S. Ooi, Journal of Applied Physics 2021, 129
  9. c)Y. Wu, Y. Xiao, I. Navid, K. Sun, Y. Malhotra, P. Wang, D. Wang, Y. Xu, A. Pandey, M. Reddeppa, Light: Science & Applications 2022, 11,294.
  10. J. Ristic, E. Calleja, S. Fernandez-Garrido, L. Cerutti, A. Trampert, U. Jahn, K. H. Ploog, Journal of crystal growth 2008, 310, 4035.
  11. S. Shetty, M. Kesaria, J. Ghatak, S. Shivaprasad, Crystal growth & design 2013, 13, 2407. https://doi.org/10.1021/cg4000928
  12. S. Fan, S. Zhao, X. Liu, Z. Mi, Journal of Vacuum Science & Technology B 2014, 32.
  13. X. Wang, J. Hartmann, M. Mandi, M. Sadat Mohajerani, H.-H. Wehmann, M. Strassburg, A. W aag, Journal of Applied Physics 2014, 115.
  14. a)K. Kishino, S. Ishizawa, Nanotechnology 2015, 26, 225602
  15. b)B. Le, X. Liu, N. Tran, S. Zhao, Z. Mi, Optics express 2019, 27, 5843.
  16. Y. Igawa, R. Vadivelu, K. Kishino, Japanese Journal of Applied Physics 2013, 52, 08JD09.
  17. a)K. Yamano, K. Kishino, Applied Physics Letters 2018, 112
  18. b)A. Pandey, J. Min, Y. Malhotra, M. Reddeppa, Y. Xiao, Y. Wu, Z. Mi, presented at 2022 IEEE Photonics Conference (IPC), 2022
  19. c)K. Kishino, H. Sekiguchi, A. Kikuchi, Journal of Crystal Growth 2009, 311,2063.
  20. M. D. Brubaker, S. M. Duff, T. E. Harvey, P. T. Blanchard, A. Roshko, A. W. Sanders, N. A. Sanford, K. A. Bertness, Crystal Growth & Design 2016, 16, 596.
  21. a)physica status solidi (RRL)-Rapid Research Letters 2013, 7, 699
  22. b)S. Fernandez-Garrido, X. Kong, T. Gotschke, R. Calarco, L. Geelhaar, A. Trampert, O. Brandt, Nano letters 2012, 12, 6119.
  23. F. Akyol, D. Nath, S. Krishnamoorthy, P. Park, S. Rajan, Applied Physics Letters 2012, 100.
  24. a)S. Keller, N. Fichtenbaum, M. Furukawa, J. Speck, S. DenBaars, U. Mishra, Applied physics letters 2007, 90
  25. b)D. N. Nath, E. Giir, S. A. Ringel, S. Rajan, Applied Physics Letters 2010, 97.
  26. a)H. P. T. Nguyen, M. Djavid, S. Y. Woo, X. Liu, A. T. Connie, S. Sadaf, Q. Wang, G. A. Botton, I. Shih, Z. Mi, Scientific reports 2015, 5, 7744
  27. b)H. P. T. Nguyen, K. Cui, S. Zhang, M. Djavid, A. Korinek, G. A. Botton, Z. Mi, Nano letters 2012, 12, 1317.
  28. C . Blumberg, P . Hauser, F . Wefers, D. Jansen, F.-J. Tegude, N. Weimann, W. Prost, CrystEngComm 2020, 22, 5522.
  29. G. Zeng, T. A. Pham, S. Vanka, G. Liu, C. Song, J. K. Cooper, Z. Mi, T. Ogitsu, F. M. Toma, Nature materials 2021,20, 1130. https://doi.org/10.1038/s41563-021-00965-w
  30. M. Khoury, H. Li, B. Bonef, T. Mates, F. Wu, P. Li, M. S. Wong, H. Zhang, J. Song, J. Choi, Optics Express 2020, 28, 18150. https://doi.org/10.1364/OE.387561
  31. P. Li, H. Li, Y. Yao, H. Zhang, C. Lynsky, K. S. Qwah, J. S. Speck, S. Nakamura, S. P. DenBaars, Applied Physics Letters 2021, 118.
  32. A. Pandey, Y. Xiao, M. Reddeppa, Y. Malhotra, J. Liu, J. Min, Y. Wu, Z. Mi, Applied Physics Letters 2023, 122.
  33. S. S. Pasayat, C. Gupta, M. S. Wong, R. Ley, M. J. Gordon, S. P. DenBaars, S. Nakamura, S. Keller, U. K. Mishra, Applied Physics Express 2020, 14, 011004. https://doi.org/10.35848/1882-0786/abd06f
  34. Z. Zhuang, D. Iida, K. Ohkawa, Optics Letters 2021, 46, 1912. https://doi.org/10.1364/OL.422579
  35. R. C. White, H. Li, M. Khoury, C. Lynsky, M. Iza, S. Keller, D. Sotta, S. Nakamura, S. P. DenBaars, Crystals 2021, 11, 1364.
  36. P. Li, H. Li, Y. Yao, N. Lim, M. Wong, M. Iza, M. J. Gordon, J. S. Speck, S. Nakamura, S. P. DenBaars, ACS Photonics 2023, 10, 1899.
  37. X. Liu, Y. Sun, Y. Malhotra, A. Pandey, Y. Wu, K. Sun, Z. Mi, Applied Physics Letters 2021, 119.
  38. K. Kishino, A. Mizuno, T. Honda, J. Yamada, R. Togashi, Applied Physics Express 2023, 17, 014004. https://doi.org/10.35848/1882-0786/ad10ec
  39. X. Liu, Y. Sun, Y. Malhotra, A. Pandey, P. Wang, Y. Wu, K. Sun, Z. Mi, Photonics Research 2022, 10, 587. https://doi.org/10.1364/PRJ.443165
  40. A. Pandey, J. Min, M. Reddeppa, Y. Malhotra, Y. Xiao, Y. Wu, K. Sun, Z. Mi, Nano Letters 2023, 23, 1680.
  41. A. Pandey, Y. Malhotra, P. Wang, K. Sun, X. Liu, Z. Mi, Photonics Research 2022, 10, 1107. https://doi.org/10.1364/PRJ.450465
  42. A. Pandey, J. Min, Y. Malhotra, M. Reddeppa, Y. Xiao, Y. Wu, Z. Mi, Photonics Research 2022, 10, 2809.