References
- A. Mesbah, D. В. Graves, J. Phys. D: Appl. Phys. 52, 30LT02-1-9 (2019)
- K. J. Kanarik et al.,Nature, 616, 707 (2023)
- S. Park et al., Plasma Phys. Controlled Fusion, 61, 014032 (2018)
- S. Park et al., Phys. Plasmas, 28, 1900030, (2019)
- 권득철, 정상영, 장원석, 임연호, "3D Logic Device 공정용 장비 전산모사 및 검증", 한국세라믹학회 추계학술대회 (2023)