초록
본 논문에서는 회로의 기본 구성요소인 인덕터와 커패시터를 LTCC 다층 기판에서 활용이 가능한 형태로 구성하여 각각의 특성을 분석하였다. 분석을 위해 사용된 인덕터와 커패시터는 유전율 7인 유전체 내부에 각각 사각형 나선 구조와 MIM 구조로 설계되었으며, 인덕터의 감은 수와 커패시터의 적층 수를 달리하여 제작하고 측정하였다. 측정된 결과는 커브피팅 방식을 이용하여 논문에서 제안한 등가회로의 각 소자 값을 추출하였고 추출된 결과를 토대로 제안한 등가회로의 타당성을 검증하였다. 분석된 인덕터와 커패시터는 라이브러리 형태로 구현하였으며 일립틱 타입의 5차 LPF 설계에 적용하여 그 활용성을 입증하였다. LPF는 실제 제작을 통해 측정되었으며, 결과적으로 통과 대역인 DC ~ 3.7 GHz 대역에서 삽입손실이 최대 1.0 dB, 반사손실이 19.2 dB, 저지 대역에서의 감쇄 값이 23.9 dB로 모든 항목에서 설계 목표치에 근접한 결과를 보였다.
In this paper, the characteristics of the inductor and capacitor, which are the basic components of the circuit, are constructed in a form that can be used in the LTCC multilayer. The inductors and capacitors used for the analysis were designed with rectangular spiral structures and MIM structures inside dielectrics with a dielectric constant of 7, respectively. The measured results were extracted from each element of the equivalent circuit proposed by the curve fitting method and verified the validity of the proposed equivalent circuit based on the extracted results. The analyzed inductor and capacitor were implemented in the form of library and proved its usefulness by applying to Elliptical type 5th LPF design. The LPF was measured through practical production, and as a result, the insertion loss in the passband DC ~ 3.7 GHz was up to 1.0 dB, the return loss was 19.2 dB, and the attenuation in the rejection band was 23.9 dB, which was close to the design goal.