그림 1 개발 중인 잔류가스분석기 구성도 Fig. 1 Configuration of residual gas analyzer under development
그림 2 이상적인 질량 스펙트럼과 잡음의 1차 및 2차 피팅 특성 Fig. 2 Linear and quadratic fitting characteristics for ideal mass spectrum and noise
그림 3 입력으로 사용한 이온신호 (a) SF6, (b) 잔류가스 Fig. 3 Ion signals as input (a) SF6, (b) residual gas
그림 4 SF6에 대한 전처리 잡음제거 결과 (a) 추정한 최빈값으로 설정한 임계값, (b) 기존 알고리즘의 결과, (c) 제안한 알고리즘의 결과 Fig. 4 Results of pre-denoising processing for SF6 (a) threshold value set as the estimated mode (b) result of the conventional algorithm, (c) result of the proposed algorithm
그림 5 잔류가스에 대한 전처리 잡음제거 결과 (a) 추정한 최빈값으로 설정한 임계값, (b) 기존 알고리즘의 결과, (c) 제안한 알고리즘의 결과 Fig. 5 Results of pre-denoising processing for residual gas (a) threshold value set as the estimated mode (b) result of the conventional algorithm, (c) result of the proposed algorithm
그림 6 SF6 입력에 대한 기존 알고리즘과 제안한 알고리즘의 최종 질량 스펙트럼 검출 성능 비교 (a) 취득 이온신호, (b) 기존 알고리즘의 결과, (c) 제안한 알고리즘의 결과 Fig. 6 Comparison of detection performance of the final mass spectrum of the conventional algorithm and the proposed algorithm for the SF6 (a) measured ion signals, (b) result of the conventional algorithm, (c) result of the proposed algorithm
그림 7 잔류가스 입력에 대한 기존 알고리즘과 제안한 알고리즘의 최종 질량 스펙트럼 검출 성능 비교 (a) 취득 이온 신호, (b) 기존 알고리즘의 결과, (c) 제안한 알고리즘의 결과 Fig. 7 Comparison of detection performance of the final mass spectrum of the conventional algorithm and the proposed algorithm for the residual gas (a) measured ion signals, (b) result of the conventional algorithm, (c) result of the proposed algorithm
참고문헌
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