한국도시환경학회지 (Journal of the Korean Society of Urban Environment)
- 제17권1호
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- Pages.85-95
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- 2017
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- 1598-253X(pISSN)
반도체 제조공정에서 양자전이 비행시간 질량분석기를 이용한 Trimethylsilanol 분석 방법에 대한 연구
A Study on the Trimethylsilanol Analysis Method of Semiconductor Processing using a Proton Transfer Reaction - Time of Flight Mass Spectrometer
- 김정호 (서울시립대학교 환경공학과) ;
-
박진수
(국립환경과학원 기후대기연구부) ;
- 민철현 (에이피엠엔지니어링 MS부) ;
- 김소영 (국립화학물질안전원) ;
-
윤관훈
(에이피엠엔지니어링 MS부) ;
-
김신도
(서울시립대학교 환경공학과)
- Kim, Jeong-Ho (Department of Environmental Engineering, University of Seoul) ;
-
Park, Jin-Soo
(Climate&Air Quality Research Department, National Institute of Environmental Research) ;
- Min, Cheol-Hyun (Division of MS, APM Engineering Co., Ltd.) ;
- Kim, So-Young (National Institute of Chemical Safety) ;
-
Yoon, Gwan-Hoon
(Division of MS, APM Engineering Co., Ltd.) ;
-
Kim, Shin-Do
(Department of Environmental Engineering, University of Seoul)
- 투고 : 2017.02.03
- 심사 : 2017.03.17
- 발행 : 2017.03.30
초록
반도체 포토리소그래피 공정에서 사용되는 Trimethylsilanol(TMS)과 같은 실리카 화합물은 포토리소그래피에 사용되는 광학 렌즈에 심각한 영향을 미친다. 본 연구에서는 TMS 실시간으로 모니터링하기 위해 양자전이 비행시간 질량분석기(PTR-ToFMS)를 적용하였으며, 분석 조건을 설정하기 위하여 PTR-ToFMS의 다양한 전장강도(E/N) 값에서 TMS를 측정하였다. 그 결과 TMS 질량스펙트럼은 PTR-ToFMS 이온이동도관의 E/N 값을 변화시킴으로써 결정되었다. 측정된 이온(
Silica compounds such as Trimethylsilanol (TMS) used in the photolithography area of semiconductor manufacture processing have irreversible dramatic impact on optical lenses used on photolithography tools. Here, a Proton Transfer Reaction-Time of Flight Mass Spectrometer (PTR-ToFMS) was applied for real-time and continuous monitoring of TMS contamination induced by the fabrication process. TMS measurements by various electronic field (E/N) were carried out using the PTR-ToFMS in order to fix the analysis condition. The TMS mass mass spectrum was determined by varying the E/N value of the PTR-ToFMS ion drift tube. The ratio of the measured ion (
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