Journal of the KSME (기계저널)
- Volume 57 Issue 1
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- Pages.42-45
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- 2017
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- 1226-7287(pISSN)
레이저 포토리소그래피 기반 3차원 구조물 제작 및 의공학적 응용
- Published : 2017.01.01
Abstract
이 글에서는 레이저 기반 포토리소그래피 공정에 대해서 소개하고, 최근 각광받고 있는 3차원 레이저 포토리소그래피 시스템 및 이를 이용한 마이크로 스케일의 3차원 구조물 제작 방법과 응용에 대해 소개하고자 한다.
Keywords