Journal of the KSME (기계저널)
- Volume 57 Issue 1
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- Pages.32-36
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- 2017
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- 1226-7287(pISSN)
전자빔 리소그래피 기반 3차원 나노구조 및 하이브리드 2차원 나노구조 가공
- Published : 2017.01.01
Abstract
이 글에서는 전자빔 리소그래피 오버레이 공정과 이를 이용해 제작된 3차원 나노구조 및 하이브리드 2차원 나노구조에 대해서 소개하고자 한다.
Keywords
이 글에서는 전자빔 리소그래피 오버레이 공정과 이를 이용해 제작된 3차원 나노구조 및 하이브리드 2차원 나노구조에 대해서 소개하고자 한다.