Abstract
The usage of toxic gas in Korea is increasing in the development of high-tech industries such as semiconductors, displays and solar panels. The recent survey of domestic toxic gas consumption indicates an increase in annual average of 12.4 percent, but it is still focused on usage, and it is negligent in safety and treating the post. In September 2012, an accident occurred in Gu-mi involving hydrofluoric acid leak demonstrates the absence of safety management. Due to the incident, the government, industry and academia have been interested in chemical substances(toxic gas), and the government-led safety management has been established and implemented, but there are still a lot of safety blind spots. The purpose of this study is to develop effective measurement methods for the destruction or removal efficiency of gaseous materials emitted from the Scrubber used in the semiconductor and display industries. Also, this study demonstrated how toxic gas facilities can be applied without error by verification test for the measurement method guideline of the destruction or removal efficiency of the green-house gas reduction facility in the semiconductor and display industries used by the National Institute of Environmental Research and the UNFCCC, and suggested the differentiated measurement methods for toxic gas reduction facilities, and the third party certification for safety facilities is needed to prevent toxic gas accidents.
국내에서 독성가스의 사용은 반도체, 디스플레이 및 태양광 등 첨단산업의 발전에 따라 증가하고 있는 추세이다. 최근 5년간 국내 독성가스 소비량 현황을 살펴보면 연평균 12% 정도 증가 추세에 있지만, 아직까지 사용에만 관심이 집중되고 있고, 사후 처리나 안전에는 다소 소홀한 것이 사실이다. 2012년 9월 발생한 구미 불산 누출사고는 이러한 안전관리 부재를 단적으로 보여주는 사례이다. 이 사고로 인하여 정부, 업계 및 학계에서는 화학물질(독성가스) 누출사고 등에 대한 관심을 갖게 되었고, 정부 주도로 화학물질안전관리대책 등이 수립되어 추진되어 왔지만 아직까지 안전관리 사각지대가 많은 실정이다. 본 연구에서는 반도체, 디스플레이 업종에서 사용되는 저감설비에서 배출되는 가스상 물질에 대한 처리효율에 대한 효과적인 측정방법을 개발하는 것이 목적이다. 국립환경과학원과 UNFCCC에서 제시하는 반도체 & 디스플레이 업종에서 사용되는 온실가스 저감시설의 처리효율 측정방법 가이드라인에 대해 실증시험을 통해 맹독성가스 시설에도 오차 범위 내에서 적용 가능한지를 살펴보고 맹독성가스 저감시설에 대한 차별화된 효율성 측정 방법을 제시하였고, 독성가스 사고에 대한 선제적 예방을 위해서 독성가스 저감시설 등 안전설비에 대한 제3자 인증제도 도입의 필요성을 제안하였다.
