탄소나노튜브 전자빔을 이용한 다양한 박막 결정화 기술

  • 박규창 (경희대학교 정보디스플레이학과) ;
  • 이하림 (경희대학교 정보디스플레이학과)
  • Published : 2016.08.31

Abstract

Keywords

References

  1. K. C. Park, J. H. Ryu, K. S. Kim, Y. Y. Yu and J. Jang, J. Vac. Sci. Technol. B 25, 1261 (2007).
  2. S. H. Lim, H. S. Yoon, J. H. Moon, K. C. Park and J. Jang, Appl. Phys. Lett 88, 033114 (2006). https://doi.org/10.1063/1.2166690
  3. K. C. Park, H. S. Yoon, J. H. Ryu, S. H. Lim, J. H. Moon and J. Jang, J. Korean Phys. Soc 48, 1365 (2006).
  4. Spindt, C. A., Journal of Applied Physics 39, 3504 (1968). https://doi.org/10.1063/1.1656810
  5. W. S. Chang, H. Y. Choi and J.U. Kim, Jpn. J. Appl. Phys 45, 7175 (2006). https://doi.org/10.1143/JJAP.45.7175
  6. S. W. Lee, J. S. Kang and K. C. Park, J Korean. Phy. Soc 68, 528 (2016). https://doi.org/10.3938/jkps.68.528
  7. S. W. Lee, H. J. Hong, J. S. Kang, S. Callixte and K. C. Park, J. Lumin 170, 312 (2016). https://doi.org/10.1016/j.jlumin.2015.10.060
  8. J. S. Kang, H. J. Hong, M. T. Chung and K. C. Park, J. Vac. Sci. Technol. B, 34, 2166 (2016).