Journal of the KSME (기계저널)

The Korean Society of Mechanical Engineers (대한기계학회)
권호 표지

기계적 손상 없이 나노박막을 전사하는 기술

  • 김재현 (한국기계연구원 나노역학연구실) ;
  • 장봉균 (한국기계연구원 나노역학연구실) ;
  • 이학주 (한국기계연구원 파동에너지극한제어연구단)
  • Published : 2016.04.01
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Abstract

이 글에서는 나노박막의 역학적 거동 및 파괴 거동의 이해를 기초로, 기계적 손상 없이 나노박막을 전사하는 공정, 장비 및 이의 응용에 관해 설명한다.

Keywords