Abstract
This paper compares and calculates more precisely the averaged reflectance of antireflection coating with different structure of single and 6 layer assuming the incident angle of light changing from $8^{\circ}$ to $60^{\circ}$ not like normal incidence as usual case. The reflectivity of AR coating of 6 layers with 180 nm thickness having index profile suggested as linear and quintic function and single layer with same thickness having even index are calculated and compared, when the wavelength of incident light ranges from 400 nm to 1200 nm. As the results the AR coating with 6 layers having quintic(linear) function index profile shows the lower reflectance about 11.6 %(14.6 %) than other index profiles, which is approximately 8 % lower reflectance compared with single layer case(about 19.6 %). This results could be applied for the better antireflection coating design applying to optical devices and filters.
본 논문은 반사방지막의 성능을 더 정확히 비교 및 분석하기 위하여 기존 방법과 달리 반사방지막에 수직입사가 아닌 입사각이 $8^{\circ}$에서 $60^{\circ}$까지 변화한다고 가정하고 단층 구조와 다층 구조의 반사방지막의 평균반사율을 계산하고 비교하였다. 입사파의 파장범위를 400 nm ~ 1200 nm 라고 가정하고, 분석에 사용된 반사방지막의 구조는 두께 180 nm인 1차 및 5차 함수의 굴절률 분포를 갖는 6층 구조와 균일한 굴절률 분포를 갖는 단층구조이다. 분석 결과로써 180 nm 단층구조의 경우 평균반사율이 19.6 % 이고, 같은 두께의 6층 구조의 1차 함수 굴절률 분포에서는 14.2 % 이고, 5차 함수 경우에는 11.6 %의 결과를 얻어 균일한 굴절률 분포의 단층구조 보다 5차 함수 굴절률 분포를 갖는 6층 구조의 경우 약 8%의 반사율 감소 효과를 보았다. 이러한 결과는 향후 광소자 및 광 필터에 적용되는 반사방지막 제작에 용용 될 수 있다고 판단된다.
