Journal of the KSME (기계저널)
- Volume 55 Issue 12
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- Pages.36-40
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- 2015
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- 1226-7287(pISSN)
2차원 금속칼코겐박막 대면적합성 및 응용
Abstract
이 글에서는 2차원 나노물질 중에서 최근 새로운 반도체재료로 주목받고 있는 금속칼코겐 물질의 대면적 연속박막합성에 대한 방법과 이를 이용한 응용사례를 소개한다.
Keywords
이 글에서는 2차원 나노물질 중에서 최근 새로운 반도체재료로 주목받고 있는 금속칼코겐 물질의 대면적 연속박막합성에 대한 방법과 이를 이용한 응용사례를 소개한다.