전자공학회논문지 (Journal of the Institute of Electronics and Information Engineers)

  • 제51권3호
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  • Pages.185-193
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  • 2014
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  • 2287-5026(pISSN)
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  • 2288-159X(eISSN)
대한전자공학회 (The Institute of Electronics and Information Engineers)
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FMS를 지원하는 블루투스 기반의 4-채널 미세 입자 계수기 개발

Development of 4-Channel Particle Counter based on bluetooth Supporting FMS

  • 엄우용 (인하공업전문대학 디지털전자과) ;
  • 구자일 (인하공업전문대학 디지털전자과) ;
  • 박성욱 (인하공업전문대학 디지털전자과)
  • Ohm, Woo-Yong (Dept. of Digital Electronics, Inha Technical Junior College) ;
  • Ku, Ja-Yl (Dept. of Digital Electronics, Inha Technical Junior College) ;
  • Park, Sung-Wook (Dept. of Digital Electronics, Inha Technical Junior College)
  • 투고 : 2013.12.04
  • 발행 : 2014.03.25
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초록

본 논문에서는 클린 룸 환경의 생산 설비에서 발생하는 미세입자, 온도, 습도 값을 측정하여 블루투스 통신을 통해 전송하는 4-채널 미세입자 계수기를 개발하였다. 이를 위해 광학 렌즈와 입자 검출 챔버를 설계하고, 미세 검출 회로를 다채널로 설계하여 $0.3{\mu}m$에서 $5{\mu}m$ 내외의 미세 입자를 측정할 수 있도록 하였다. 그리고 측정된 값을 상시 모니터링 하기 위해 FMS(Facility Monitoring Systems) 프로그램을 개발하고, 실험을 통해 개발된 시스템이 안정적으로 동작함을 확인하였다.

In this paper, we developed a 4-channel particle counter for measuring particles, temperature, humidity in production facilities of clean-room environment, and the measured data can be transmitted via bluetooth. To measure the particle size ranging 0.3um~5um, we designed optical lens, particle detection chamber and multi-channel particle detection circuit. And we also developed a FMS program for real-time monitoring of measuring data, which resulted in the stable operation.

키워드

참고문헌

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  2. Wang, S. F., Chiu, M. H., Chen, W. W., Kao, F. H., and Chang R. S., "Small-displacement sensing system based on multiple total internal reflections in heterodyne interferometry", Applied Optics, Vol. 48, No. 13, pp. 2566-2573, 2009. https://doi.org/10.1364/AO.48.002566
  3. H. C. van de Hulst, "Light scattering by small particles", Wiley, New York, pp.1-470, 1981.
  4. (주)라이다텍, "미세입자 측정용 레이저 입자 계수기", 한국/20-2004-0021479, 특허.
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