탄소나노튜브 전자빔을 이용한 박막 결정화 기술

  • 박규창 (경희대학교 정보디스플레이학과) ;
  • 강정수 (경희대학교 정보디스플레이학과)
  • Published : 2014.12.31

Abstract

Keywords

References

  1. S. Kenji, O. Faki, ujio, U. Hiroyuki, I. Shinji, K. Setsuo and H. Kazu, Electron Devices, IEEE Transactions 36(12), 2868 (1989). https://doi.org/10.1109/16.40970
  2. K. C. Park, J. H. Ryu, K. S. Kim, Y. Y. Yu and J. Jang, J. Vac. Sci. Technol. B 25, 1261 (2007).
  3. S. H. Lim, H. S. Yoon, J. H. Moon, K. C. Park and J. Jang, Appl. Phys. Lett. 88, 033114 (2006). https://doi.org/10.1063/1.2166690
  4. K. C. Park, H. S. Yoon, J. H. Ryu, S. H. Lim, J. H. Moon and J. Jang, J. Korean Phys. Soc. 48, 1365 (2006).
  5. Spindt, C. A., Journal of Applied Physics 39(7), 3504 (1968). https://doi.org/10.1063/1.1656810
  6. W. S. Chang, H. Y. Choi and J.U. Kim, Jpn. J. Appl. Phys. 45, 7175 (2006). https://doi.org/10.1143/JJAP.45.7175
  7. E. H. Lee, S. W. Lee, Y. J. Eom, H. N. Won, J. Jang, B. Y. Moon and K. C. Park, Eur. Phys. J. Appl. Phys. 63, 20302 (2013). https://doi.org/10.1051/epjap/2013130161