Journal of the KSME (기계저널)
- Volume 53 Issue 9
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- Pages.41-45
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- 2013
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- 1226-7287(pISSN)
탄소나노튜브와 멤스 소자의 융합
Abstract
이 글에서는 탄소나노튜브와 멤스(MEMS: Microelectromechanical system) 소자의 융합 기술 및 응용 분야에 대하여 소개하고자 한다.
Keywords
이 글에서는 탄소나노튜브와 멤스(MEMS: Microelectromechanical system) 소자의 융합 기술 및 응용 분야에 대하여 소개하고자 한다.