Journal of the KSME (기계저널)
- Volume 52 Issue 5
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- Pages.40-45
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- 2012
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- 1226-7287(pISSN)
반도체 제조공정에서의 입자제어
Abstract
이 글에서는 반도체 산업에서 기계공학의 중요성과 반도체 공정 기술의 변화와 함께 요구되는 입자제어 기술의 현황에 대해 소개하고자 한다.
Keywords
이 글에서는 반도체 산업에서 기계공학의 중요성과 반도체 공정 기술의 변화와 함께 요구되는 입자제어 기술의 현황에 대해 소개하고자 한다.