엔지니어링 세라믹 소재의 내플라즈마성 및 식각기구

  • 이성민 (한국세라믹기술원 엔지니어링세라믹센터) ;
  • 오윤석 (한국세라믹기술원 엔지니어링세라믹센터) ;
  • 김대민 (한국세라믹기술원 엔지니어링세라믹센터)
  • Published : 2012.10.26