Journal of the KSME (기계저널)
- Volume 51 Issue 9
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- Pages.33-39
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- 2011
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- 1226-7287(pISSN)
레이저를 이용한 마이크로 및 나노 가공
Abstract
레이저 마이크로 및 나노 가공은 공기 중에서 고속으로 실행이 가능하여 산업적으로 응용이 가능한 거의 유일한 초미세가공기술로소 반도체, 전자, 마이크로유체소자 등과 같은 분야에 널리 응용되고 있고 기존 기술의 한계를 뛰어 넘는 새로운 기술을 창출하는 데 기여하고 있다.
Keywords