초록
본 논문은 세라믹과 금속파우더를 이용한 복합소재를 플라즈마 용사 방식으로 개발한 결과를 수록하였다. 사용된 세라믹 파우더는 $Al_2O_3+40TiO_2$ 이고 입자 크기는 $20{\mu}m$, $Al_2O_398+$파우더의 입자 크기는 $45{\mu}m$를 사용하였다. $20{\mu}m$, $30{\mu}m$ 및 $50{\mu}m$ 금속필터 입자는 SIKA-R 20IS, 30IS 및 50IS(소결금속필터)을 사용 했으며, $75{\mu}m$ 금속필터 입자는 5 겹 소결메쉬 필터를 사용��다. 용사 공정으로 가공된 복합 필터는 세라믹 파우더의 종류, 크기 및 코팅 두께에 따라 성능의 차이를 보였으나, 전반적으로 필터링 가능 능력은 향상되었다.
This research was performed on a microfilter made of a hybrid material (ceramic + metal) that was coated with ceramics on the metal-filter surface by using the thermal spray method. The ceramic powders used were $Al_2O_3+40TiO_2$ powder with a particle size of $20{\mu}m$ and $Al_2O_3$ (98%+)powder with a particle size of $45{\mu}m$. The metal filters were filter-grade $20{\mu}m$, $30{\mu}m$, and $50{\mu}m$ sintered metal powder filters (SIKA-R 20 IS, 30 IS, 50 IS; Sinter Metals Filters) and filter-grade $75{\mu}m$ sintered mesh filter with five layers. Ceramic-coated filters that were coated using the thermal spray method had a great influence on powder material, particle size, and coating thickness. However, these filters showed a fine performance when used as micro-filters.