References
- D. H. Lee, G. H. Cho, J. Y. Lee, H. S. Song, D. H. Gill, J. H. Koo, E. H. Choi, S. B. Kim, B. S. Kim, J. G. Kang, M. R. Cho, and M. G. Hwang, SID 04, 1335 (2004).
- J. G. Kim and S. K. Lim, SID 04, 479 (2004).
- D. J. Jin, J. M, Jeong, H. S. Jeong, J. S. Kim, J. H. Koo, J. G. Kang, E. H. Choi, and G. S. Cho, J. Korean Vacuum Soc. 17, 331 (2008). https://doi.org/10.5757/JKVS.2008.17.4.331
- G. Cho, A. Ahn, J. Jeong, B. Hong, J. Koo, Y. Kim, E. Choi, and J. Verboncoeur, J. Phys. D, Appl. Phys. 40, 3945 (2007). https://doi.org/10.1088/0022-3727/40/13/006
- G. Cho, J. Kim, J. Jeong, B. Hong, J. Koo, E. Choi, J. Verboncoeur, and H. Uhm, Appl. Phys. Lett. 92, 021502 (2008). https://doi.org/10.1063/1.2832669
- H. Yamashita and T. Terada, IDW 98, 351 (1998).
- V. Gibour, P. Boher, and T. Leroux, IMID 04, 791 (2004).
- S. Ahn, M. Lee, J. Jeong, J. Kim, D. Yoo, J. Koo, J. Kang, B. Hong, E. Choi, and G. Cho, J. Korean Vacuum Soc. 16, 172 (2007). https://doi.org/10.5757/JKVS.2007.16.3.172
- G. Cho, J. Lee, D. Lee, S. Kim, H. Song, J. Koo, B. Kim, J. Kang, E. Choi, U. Lee, S. Yang, and J. Verboncoeur, IEEE Trans. Plasma Science 33, 1210 (2005). https://doi.org/10.1109/TPS.2005.851977
- G. Cho, D. H. Lee, J. Y. Lee, H. S. Song, and D. H. Gill, J. Korean Vacuum Soc. 14, 48 (2005).
- J. J. Jeong, M. J. Shin, S. C. Shin, and G. Cho, J. Korean Vacuum Soc. 15, 587 (2006).
- J. R. Reitz, F. J. Milford, and R. W. Christy, Foundation of Electromagnetic Theory (Addison-Wesley, New York, 1979), pp. 275.
- J. Waymouth, Electric Discharge Lamp (MIT-Press, Boston, 1971), pp.11-70.
- R. Y. Pai, SID 97, 447 (1997).
- D. J. Jin, J. M. Jeong, H. S. Jeong, J. S. Kim, M. K. Lee, J. H. Kim, J. H. Koo, J. G. Kang, E. H. Choi, and G. S. Cho, J. Korean Vacuum Soc. 17, 331 (2008). https://doi.org/10.5757/JKVS.2008.17.4.331
- J. Y. Chung, J. H. Kim, J. M. Jeong, D. J. Jin, H. C. Kim, J. H. Bong, H. C. Hwang, M. S. Lee, J. H. Koo, and G. S. Cho, J. Korean Vacuum Soc. 17, 322 (2008). https://doi.org/10.5757/JKVS.2008.17.4.322
- M. Lieberman and A. Lichtenberg, Principles of Plasma Discharges and Materials Processing (Wiley & Sons, N. Y. 2005), pp.36.
- G. Cho, A. Ahn, J. Jeong, B. Hong, J. Koo, Y. Kim, E. Choi, and J. Verboncoeur, J. Phys. D, Appl. Phys. 40, 3945 (2007). https://doi.org/10.1088/0022-3727/40/13/006
- G. Cho, J. Kim, J. Jeong, B. Hong, J. Koo, E. Choi, J. Verboncoeur, and H. Uhm, Appl. Phys. Lett. 92, 021502 (2008). https://doi.org/10.1063/1.2832669
- G. Cho, J. Kim, J, Jeong, H. Hwang, D. Jin, J. Koo, E. Choi, J. Verboncoeur, and H. Uhm, IEEE, Trans. Plasma Sci. 37, 438 (2009). https://doi.org/10.1109/TPS.2008.2011909