References
- T. G. Chung, Y. H. Kim, and J. G. Na, J. Kor. Inst. Met. & Mater. 29, 1097 (1991).
- K. H. Hwang, K. I. Lee, S. K. Joo, and T. Kang, J. Kor. Associ. Cryst. Grow. 1 80 (1991).
- S. M. Sze, VLSI Technology, 2nd Ed., NcGraw Hill, p. 373 (1988).
- G. E. McGuire, Semiconductor Materials and Process Handbook, Noyes Publication, p. 587 (1988).
- E. J. Lee and J. S. Kim, J. Inst. Ind. Technol. 6, 11 (1998).
- J. J. Kim and M. S. Kang, Hwahak Konghak 39, 721 (2001).
- B. S. Min, W. S. Chung, and I. G. Kim, J. Kor. Inst. Met. & Mater. 40, 12 (2002).
- S. Yoshimura, S. Yoshihara, T. Shirakashi, and E. Sato, Electrochim. Acta 39, 589 (1994). https://doi.org/10.1016/0013-4686(94)80105-3
- T. X. Liang, Y. Q. Liu, Z. Q. Fu, T. Y. Luo, and K. Y. Zhang, Thin Solid Films 473, 247 (2005). https://doi.org/10.1016/j.tsf.2004.07.073
- E. K. Park, M. H. Lee, T. G. Woo, I. S. Park, K. H. Jung, and K. W. Seol, J. Kor. Inst. Met. & Mater. 47, 740 (2009).
- M. L. Sartorelli, A. Q. Schervenski, R. G. Delatorre, and P. Klauss, Phys. Stat. Sol. 187, 91 (2001). https://doi.org/10.1002/1521-396X(200109)187:1<91::AID-PSSA91>3.0.CO;2-9
- T. G. Woo, I. S. Park, H. W. Lee, and K. W. Seol, Kor. J. Mater. Res. 16, 11 (2006). https://doi.org/10.3740/MRSK.2006.16.1.011
- H. J. Kang, P. N. Park, S. J. Park, and S. Y. Choi, Electro. Technol. Res. 203, 8 (2003).
- P. V. Brande and R. Winand, Surf. Coat. Technol. 52, 1 (1992). https://doi.org/10.1016/0257-8972(92)90365-H
- Z. Zhou and T. J. O'Keefe, J. Appl. Electroch. 28, 461 (1998). https://doi.org/10.1023/A:1003209009910
- J. J. Yang, Y. L. Huang, and K. W. Xu, Surf. Coat. Technol. 201, 5574 (2007). https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2006.07.227
- A. Ibanez and E. Fatas, Surf. Coat. Technol. 191, 7 (2005). https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2004.05.001
- H. S. Lee, H. S. Kim, and C. M. Lee, J. Kor. Inst. Met. & Mater. 39, 920 (2001).
- H. S, Lee, D. K. Kwon, H. A. Park, and C. M. Lee, Kor. J. Mater. Res. 13, 174 (2003). https://doi.org/10.3740/MRSK.2003.13.3.174
- C. H. Yang, S. C. Lee, J, M. Wu, and T. C. Lin, Appl. Surf. Sci. 252, 1818 (2005). https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2005.03.182
- H. T. Yeom and J. S. Lee, Surf. Treat. Plat., p. 49-58, Munundang, Seoul (2008).