Bulletin of the Korean Chemical Society

  • 제31권8호
  • /
  • Pages.2416-2418
  • /
  • 2010
  • /
  • 0253-2964(pISSN)
  • /
  • 1229-5949(eISSN)
대한화학회 (Korean Chemical Society)
권호 표지
DOI QR코드

DOI QR Code

DFT Study on the Gas Phase Decomposition of Tungsten Imido Guanidinate Complex W(NiPr)Cl3[iPrNC(NMe2)NiPr] for Chemical Vapor Deposition of Tungsten Carbonitride Films

  • 투고 : 2010.04.07
  • 심사 : 2010.06.15
  • 발행 : 2010.08.20
PDF 다운로드
⟨ 이전 논문 다음 논문 ⟩

초록

키워드

참고문헌

  1. Kaloyeros, A. E.; Eisenbraun, E. Annu. Rev. Mater. Sci. 2000, 30, 363. https://doi.org/10.1146/annurev.matsci.30.1.363
  2. Bchir, O. J.; Green, K. M.; Hlad, M. S.; Anderson, T. J.; Brooks, B. C.; Wilder, C. B.; Powell, D. H.; McElwee-White, L. J. Organomet. Chem. 2003, 684, 338. https://doi.org/10.1016/S0022-328X(03)00769-1
  3. Bchir, O. J.; Johnston, S. W.; Cuadra, A. C.; Anderson, T. J.; Ortiz, C. G.; Brooks, B. C.; Powell, D. H.; McElwee-White, L. J. Cryst. Growth 2003, 249, 262. https://doi.org/10.1016/S0022-0248(02)02145-0
  4. Bchir, O. J.; Green, K. M.; Ajmera, H. M.; Zapp, E. A.; Anderson, T. J.; Brooks, B. C.; Reitfort, L. L.; Powell, D. H.; Abboud, K. A.; McElwee-White, L. J. Am. Chem. Soc. 2005, 127, 7825. https://doi.org/10.1021/ja043799d
  5. Ajmera, H. M.; Heitsch, A. T.; Anderson, T. J.; Wilder, C. B.; Reitfort, L. L.; McElwee-White, L.; Norton, D. P. J. Vac. Sci. Technol. B 2008, 26, 1800. https://doi.org/10.1116/1.2981082
  6. Wilder, C. B.; Reitfort, L. L.; Abboud, K. A.; McElwee-White, L. Inorg. Chem. 2006, 45, 263. https://doi.org/10.1021/ic051497m
  7. Ajmera, H. M.; Anderson, T. J.; Koller, J.; McElwee-White, L.; Norton, D. P. Thin Solid Films 2009, 517, 6038. https://doi.org/10.1016/j.tsf.2009.04.036
  8. Kim, D.; Kim, O. H.; Anderson, T. J.; Koller, J.; McElwee-White, L.; Leu, L. C.; Tsai, J. M.; Norton, D. P. J. Vac. Sci. Technol. 2009, 27, 943. https://doi.org/10.1116/1.3106625
  9. Won, Y. S.; Kim, Y. S.; Anderson, T. J.; Reitfort, L. L.; Ghiviriga, I.; McElwee-White, L. J. Am. Chem. Soc. 2006, 128, 13781. https://doi.org/10.1021/ja0621804
  10. Won, Y. S.; Kim, Y. S.; Anderson, T. J.; McElwee-White, L. Chem. Mater. 2008, 20, 7246. https://doi.org/10.1021/cm802173e
  11. Ajmera, H. M.; Heitsch, A. T.; Bchir, O. J.; Anderson, T. J.; Reitfort, L. L.; McElwee-White, L. J. Electrochem. Soc. 2008, 155, H829. https://doi.org/10.1149/1.2961053
  12. Wilder, C. B. Study of Tungsten (IV) and Tungsten (VI) Imido Complexes: Synthesis, Structural Analysis and Reactivity. Ph.D. Dissertation, University of Florida, Gainesville, 2005.
  13. Reed, A. E.; Curtiss, L. A.; Weinhold, F. Chem. Rev. 1988, 88, 899. https://doi.org/10.1021/cr00088a005
  14. Frisch, M. J.; Trucks, G. W.; Schlegel, H. B.; Scuseria, G. E.;Robb, M. A.; Cheeseman, J. R.; Montgomery, J. A., Jr.; Vreven, T.;Kudin, K. N.; Burant, J. C.; Millam, J. M.; Iyengar, S. S.; Tomasi,J.; Barone, V.; Mennucci, B.; Cossi, M.; Scalmani, G.; Rega, N.;Petersson, G. A.; Nakatsuji, H.; Hada, M.; Ehara, M.; Toyota, K.;Fukuda, R.; Hasegawa, J.; Ishida, M.; Nakajima, T.; Honda, Y.;Kitao, O.; Nakai, H.; Klene, M.; Li, X.; Knox, J. E.; Hratchian, H.P.; Cross, J. B.; Bakken, V.; Adamo, C.; Jaramillo, J.; Gomperts,R.; Stratmann, R. E.; Yazyev, O.; Austin, A. J.; Cammi, R.; Pomelli,C.; Ochterski, J. W.; Ayala, P. Y.; Morokuma, K.; Voth, G.A.; Salvador, P.; Dannenberg, J. J.; Zakrzewski, V. G.; Dapprich,S.; Daniels, A. D.; Strain, M. C.; Farkas, O.; Malick, D. K.; Rabuck,A. D.; Raghavachari, K.; Foresman, J. B.; Ortiz, J. V.; Cui, Q.;Baboul, A. G.; Clifford, S.; Cioslowski, J.; Stefanov, B. B.; Liu,G.; Liashenko, A.; Piskorz, P.; Komaromi, I.; Martin, R. L.; Fox,D. J.; Keith, T.; Al-Laham, M. A.; Peng, C. Y.; Nanayakkara, A.;Challacombe, M.; Gill, P. M. W.; Johnson, B.; Chen, W.; Wong,M. W.; Gonzalez, C.; Pople, J. A. Gaussian 03, revision D.02; Gaussian,Inc.: Wallingford, CT, 2004.
  15. Becke, A. D. J. Chem. Phys. 1993, 98, 5648. https://doi.org/10.1063/1.464913
  16. Ditchfield, R.; Herhe, W. J.; Pople, J. A. J. Chem. Phys. 1971, 54, 724. https://doi.org/10.1063/1.1674902
  17. Okamoto, Y. J. Cryst. Growth 1998, 191, 405. https://doi.org/10.1016/S0022-0248(98)00160-2
  18. Timoshkin, A. Y.; Bettinger, H. F.; Schaefer, H. F., III. Inorg. Chem. 2002, 41, 738. https://doi.org/10.1021/ic010931r

피인용 문헌

  1. Recent Advances Using Guanidinate Ligands for Chemical Vapour Deposition (CVD) and Atomic Layer Deposition (ALD) Applications vol.67, pp.7, 2014, https://doi.org/10.1071/CH14172