기계저널 (Journal of the KSME)

대한기계학회 (The Korean Society of Mechanical Engineers)
권호 표지

마이크로 / 나노 구조물의 비전통적인 물성

  • 발행 : 2010.01.01
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초록

이 글에서는 전형적인 포토리소그래피 공정을 변형 적용하여 다양한 모양의 3차원 감광막 구조물을 형성할 수 있는, 다중노광 단일현상 고정, 다중코팅 단일노광 공정, 디퓨저 리소 그래피 공정, 리플로 공정 등 네 가지 기술을 소개한다.

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