Journal of Sensor Science and Technology (센서학회지)

The Korean Sensors Society (한국센서학회)
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Uncooled amorphous silicon 16x16 infrared focal plane arrays development

비정질 실리콘 기반의 비냉각형 16x16 적외선 초점면배열의 개발

  • 전상훈 (한국전자통신연구원 IT융합부품연구소 차세대 iMEMS팀) ;
  • 조성목 (한국전자통신연구원 IT융합부품연구소 차세대 iMEMS팀) ;
  • 양우석 (한국전자통신연구원 IT융합부품연구소 차세대 iMEMS팀) ;
  • 류호준 (한국전자통신연구원 IT융합부품연구소 차세대 iMEMS팀) ;
  • 양기동 (아이쓰리 시스템) ;
  • 유병곤 (한국전자통신연구원 IT융합부품연구소 차세대 iMEMS팀) ;
  • 최창억 (한국전자통신연구원 IT융합부품연구소 차세대 iMEMS팀)
  • Published : 2009.07.31
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Abstract

This paper describes the design and fabrication of 16$\times$16 microbolometer infrared focal plane arrays based on iMEMS technology. Amorphous silicon was used for infrared-sensitive material, and it showed the resistance of 18 Mohm and the temperature coefficient of resistivity of -2.4 %. The fabricated sensors exhibited responsivity of 78 kV/W and thermal time constant of 8.0 msec at a bias voltage of 0.5 V. The array performances had satisfactory uniformity less than 5 % within one-sigma. Also, 1/f noise of pixel was measured and the noise factor of $6\times10^{-11}$ was extracted. Finally, we obtained detectivity of $1.27\times10^9cmHz^{0.5}/W$ and noise equivalent temperature difference of 200 mK at a frame rate of 30 Hz.

Keywords

References

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