초록
이 논문에서는 TFT-LCD의 제조공정에서 생기는 결함(Mura)을 효율적으로 검출할 수 있는 새로운 전기적인 검출방식을 제안한다. TFT-LCD의 결함은 영역을 갖고 있으므로 어느 한 라인에서는 sin파의 모양으로 관찰된다. 따라서 FFT 변환을 통하여 문턱치와 비교하면 쉽게 결함이 검출될 수 있음을 보였다. 여러 가지 크기의 결함 패턴이 발생한 경우에도 Multi-point FFT 변환을 수행하면 크기가 일치하는 FFT 변환으로 효과적으로 검출됨을 보였다. 따라서 이 논문에서 제안된 알고리즘은 TFT-LCD의 자동 결함 검출 장치에 다양하게 이용될 수 있을 것이다.
In this paper, we propose a new algorithm which can detect Mura in TPT-LCD effectively. Since Mura in TFT-LCD has a certain area shape, it is seen as a sin wave in a LCD line. Consequently, it is shown that this type of Mura can be detected easily through FFT. Even multiple size of Mura patterns exist, those patterns can be detected with multi-point FFT. Proposed algorithm can be utilized in automatic Mura detection systems instead of human Mura detection methods.
