Abstract
Ionizer is used in removal of static-electricity charge from several production processes such as flat panel display, organic EL, etc. In this paper, we introduce remote monitoring systems for ionizer which have been built to communicate with multiple ionizer and to control the power and ionizing state independently. Based on a series of tests, we verified the key functions of this controller such as unit connection, quantity of ion and electric charge, alarm, and successful communication between PC and controller. This system may be directly applicable to monitor systems for ionizer in the manufacturing processes of TFT-LCD, PDP, organic EL, and others.
제전기는 정전기를 제거하는 장치로서 평판디스플레이, 유기 EL 등의 제조 공정에서 사용하는 장치이다. 본 논문에서는 상위 컴퓨터와 다수의 제전기간에 통신이 가능하며, 각 제전기의 전원 및 제전 상태를 독립적으로 제어가 가능한 제전기용 고성능 원격 감시 장치를 개발하였다. 실험을 통하여 제어기의 핵심적인 기능인 유니트 접속, 이온발생량, 대전량, 경보상태, 그리고 제전상태가 PC와 제어기 사이에 정상적으로 송수신 되는 것을 확인하였다. 개발된 장치는 TFT-LCD, PDP, 유기 EL 등 평판제조 산업에 필요한 제전기를 고성능으로 원격 감시하는 시스템에 활용이 기대된다.
