반도체 제조 공정용 SiC 소재 기술

• Jo, Gyeong-Seon ;
• Yun, Seong-Ho ;
• Jeong, Hun ;
• Chae, Su-Ho ;
• Im, Gwang-Yeong ;
• Kim, Yeong-Uk ;
• Park, Sang-Hwan

• 조경선 (한국과학기술연구원 재료연구기술본부) ;
• 윤성호 (한국과학기술연구원 재료연구기술본부) ;
• 정훈 (한국과학기술연구원 재료연구기술본부) ;
• 채수호 (서울시립대학교 신소재공학과) ;
• 임광영 (서울시립대학교 신소재공학과) ;
• 김영욱 (서울시립대학교 신소재공학과) ;
• 박상환 (한국과학기술연구원 재료연구기술본부)

• Published : 2009.02.28

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