02)563-7922
English
한국어
English
The Korean Infomation Display Society
http://www.k-ids.or.kr
Article Info.
Home
Article Info.
Information Display
(인포메이션 디스플레이)
Volume 10 Issue 5
/
Pages.27-32
/
2009
/
1975-3667(pISSN)
The Korean Infomation Display Society (한국정보디스플레이학회)
대면적 고효율 스퍼터링 장치의 시장 현황과 기술적 발전 과제
Ju, Jeong-Hun
;
An, Byeong-Cheol
주정훈
(군산대학교 신소재공학과) ;
안병철
((주)AVACO VE사업부)
Published : 2009.10.30
PDF
KSCI
Download PDF
〈 Previous
Next 〉
Abstract
Keywords
References
C. J. Wikersham, Jr., J. E. Poole, A. Leybovich, and L. Zhu, J. Vac. Sci. TechnolA., 19 (2001) 2767
https://doi.org/10.1116/1.1403719
Detail Search
×
Title, Summary, Keyword
Publications
Publication Year
Volume
Issue
Page
Author
Affiliation
Publisher
DOI
Publication Type
Journal
Conference Proceeding Paper
Magazine