청정기술 (Clean Technology)
- 제14권2호
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- Pages.123-128
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- 2008
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- 1598-9712(pISSN)
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- 2288-0690(eISSN)
LCD 식각폐액으로부터 질산과 초산의 분리
Separation of Nitric Acid and Acetic Acid from the Waste Acid in LCD Etching Process
- 전희동 (포항산업과학연구원 환경연구실) ;
- 노유미 (포항산업과학연구원 환경연구실) ;
- 박성국 (포항산업과학연구원 환경연구실) ;
- 김주한 ((주)엔아이티) ;
- 신창훈 ((주)엔아이티) ;
- 김주엽 (한양대학교 공과대학 토목공학과) ;
- 안재우 (대진대학교 공과대학 신소재공학과)
- Chun, Hee-Dong (Environment Research Department, Research Institute of Industrial Science & Technology) ;
- Roh, Yu-Mi (Environment Research Department, Research Institute of Industrial Science & Technology) ;
- Park, Sung-Kuk (Environment Research Department, Research Institute of Industrial Science & Technology) ;
- Kim, Ju-Han (NIT Co., Ltd) ;
- Shin, Chang-Hoon (NIT Co., Ltd) ;
- Kim, Ju-Yup (Department of Civil Engineering, Hanyang University) ;
- Ahn, Jae-Woo (Department of Advanced Material Science and Engineering, Daejin University)
- 발행 : 2008.06.30
초록
LCD 제조공정에서 배출되는 폐에칭액으로부터 조(粗)인산 회수 후 잔류하는 질산, 초산 혼산폐액을 분리하여 자원화함으로써 고부가가치화하고 2차 폐수의 발생이 없는 친환경적인 청정 재활용기술을 개발하고자 진공증발을 이용하여 혼산폐액을 분리하였다. 진공도 -760 mmHg 조건에서 온도의 따른 진공증발 결과
The waste solution, which was discharged from the recovery process of LCD etching solution, consists of 15 wt% nitric acid and 20 wt% acetic acid. In this study, it was conducted to separate acid individually from the mixed acid by vacuum evaporation under -760 mmHg gauge and at
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