Abstract
In this study, the Fourier-Domain optical measurement system, which use a commercial high power white LED as a light source and a CCD linear-array as a detector is realized. The proposed system shows the axial measurement range over $125{\mu}m$ and the axial resolution below $1.24{\mu}m$. This system has the advantage of the cost effective and compact structure and also the better resolution than the existing technologies, which have a resolution above a few of ${\mu}m$ and use bulky and/or expensive broadband light sources.
본 논문에서는 상용 고휘도 백색광 LED 및 CCD 어레이 검파기를 이용하여 Fourier-domain 방식의 광 계측기를 구현하였다. 제안된 기술의 축 방향 측정 거리 범위는 $125{\mu}m$이고, 축 방향 분해능은 $1.24{\mu}m$이다. 기존 시스템이 고가의 광대역 광원을 사용하면서도 분해능이 수 ${\mu}m$ 이상인 것에 비추어 볼 때, 본 시스템은 저가의 상용 LED와 CCD 어레이 검파기를 사용하여 구현되므로 소형이며 가격적인 면에서 유리하면서도 높은 분해능을 얻을 수 있다.