Journal of the Microelectronics and Packaging Society (마이크로전자및패키징학회지)
- Volume 15 Issue 4
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- Pages.101-106
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- 2008
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- 1226-9360(pISSN)
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- 2287-7525(eISSN)
$NO_2$ gas sensing properties of $SnO_2$ thin films dopped with Pd and CNT
Pd 및 CNT 첨가에 따른 $SnO_2$ 박막의 이산화질소 감지특성
Abstract
The
이산화질소를 감지할 수 있는 센서물질로 Pd과 탄소 나노튜브(CNT)가 첨가된