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한국세라믹학회
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세라미스트
(Ceramist)
제10권4호
/
Pages.38-53
/
2007
/
1226-976X(pISSN)
/
2586-0631(eISSN)
한국세라믹학회 (The Korean Ceramic Society)
반도체 제조공정용 탄화규소 부품/소재 기술
박상환
(한국과학기술연구원 재료기술연구본부) ;
이동윤
(한국과학기술연구원 재료기술연구본부) ;
한재호
(한국과학기술연구원 재료기술연구본부) ;
윤성호
(한국과학기술연구원 재료기술연구본부) ;
조경선
(한국과학기술연구원 재료기술연구본부)
Park, Sang-Hwan
;
Lee, Dong-Yun
;
Han, Jae-Ho
;
Yun, Seong-Ho
;
Jo, Gyeong-Seon
발행 : 2007.08.31
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