Ceramist (세라미스트)

The Korean Ceramic Society (한국세라믹학회)
권호 표지

반도체 제조공정용 탄화규소 부품/소재 기술

  • 박상환 (한국과학기술연구원 재료기술연구본부) ;
  • 이동윤 (한국과학기술연구원 재료기술연구본부) ;
  • 한재호 (한국과학기술연구원 재료기술연구본부) ;
  • 윤성호 (한국과학기술연구원 재료기술연구본부) ;
  • 조경선 (한국과학기술연구원 재료기술연구본부)
  • Published : 2007.08.31
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