마이크로전자및패키징학회지 (Journal of the Microelectronics and Packaging Society)
- 제14권3호
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- Pages.57-64
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- 2007
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- 1226-9360(pISSN)
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- 2287-7525(eISSN)
Si 칩에 형성된 박막히터를 이용한 Chip-on-Glass 공정
Chip-on-Glass Process Using the Thin Film Heater Fabricated on Si Chip
- Jung, Boo-Yang (Department of Materials Science and Engineering, Hongik University) ;
- Oh, Tae-Sung (Department of Materials Science and Engineering, Hongik University)
- 발행 : 2007.09.30
초록
Si 칩에 박막히터를 형성하고 이에 전류를 인가하여 LCD (liquid crystal display) 패널의 유리기판은 가열하지 않으면서 Si 칩만을 선택적으로 가열함으로써 Si 칩을 LCD 패널의 유리기판에 실장 하는 새로운 COG 공정기술을 연구하였다.
New Chip-on-glass technology to attach an Si chip directly on the glass substrate of LCD panel was studied with local heating method of the Si chip by using thin film heater fabricated on the Si chip. Square-shaped Cu thin film heater with the width of