전기의세계
- Volume 56 Issue 10
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- Pages.22-27
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- 2007
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- 1598-4613(pISSN)
대면적 고생산성 나노임프린트 리소그래피
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Jeong, Jun-Ho
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- Kim, Gi-Don ;
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Choe, Dae-Geun
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Choe, Jun-Hyeok
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Sim, Jong-Yeop
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- Lee, Dong-Il ;
- Lee, Sun-Won ;
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Lee, Eung-Suk
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정준호
(한국기계연구원 나노공정장비연구센터) ;
- 김기돈 (한국기계연구원 나노공정장비연구센터) ;
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최대근
(한국기계연구원 나노공정장비연구센터) ;
-
최준혁
(한국기계연구원 나노공정장비연구센터) ;
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심종엽
(한국기계연구원 나노공정장비연구센터) ;
- 알툰알리 (한국기계연구원 나노공정장비연구센터) ;
- 이동일 (한국기계연구원 나노공정장비연구센터) ;
- 이순원 (한국기계연구원 나노공정장비연구센터) ;
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이응숙
(한국기계연구원 나노공정장비연구센터)
- Published : 2007.10.01
Abstract
Keywords