Acknowledgement
Supported by : 인하대학교
References
- J. M. Lee, K. K. Kim, S. J. Park, and W. K. Choi, Appl. Phys. Lett., 78, 3842 (2001) https://doi.org/10.1063/1.1379061
- J. S. Park, H. J. Park, T. B. Hahn, and G. C. Yi, J. Vac. Sci. Technol. B, 21, 800 (2003) https://doi.org/10.1116/1.1563252
- J. M. Lee, K. M. Chang, K. K. Kim, W. K. Choi, and S. J. Park, J. Electrochem. Soc., 148, G1 (2001) https://doi.org/10.1149/1.1344554
- K. Ip, K. H. Baik, M. E. Overberg, E. S. Lanbers, Y. W. Heo, D. P. Norton, F. Ren, and J. M. Zavada, Appl. Phys. Lett., 81, 3546 (2002) https://doi.org/10.1063/1.1519095
- K. Ip, M. E. Overberg, K. W. Biak, R. G. Wilson, S. O. Kucheyev, J. S. Williams, C. Jagadish, F. Ren, Y. W. Heo, D. P. Norton, J. M. Zavada, and S. J. Pearton, Solid-state Electronics, 47, 2289 (2003)
- R. Groenen, M. Creatore, and M. C. M. van de Sanden, Applied Surface Science, 241, 321 (2005) https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2004.07.034
- S. W. Na, M. H. Shin, Y. M. Chung, J. G. Han, S. H. Jeung, J. H. Boo, and N. E. Lee, Microelectron. Eng., 83, 328 (2006) https://doi.org/10.1016/j.mee.2005.09.007
- I. Volintiru, M. Creatore, J. L. Linden, and M. C. M. van de Sanden, Superlattices and Microstructures, 39, 348 (2006) https://doi.org/10.1016/j.spmi.2005.08.061
- J. Müller, G. Schope, O. Rech, M. Ruske, J. Trube, B. Szyszka, X. Jiang, and G. Brauer, Thin Solid Films, 392, 327 (2001) https://doi.org/10.1016/S0040-6090(01)01052-5
- K. Takahashi, H. Funakubo, N. Ohashi, and H. Haneda, Thin Solid Films, 486, 42 (2005) https://doi.org/10.1016/j.tsf.2004.11.221
- H. K. Kim, J. W. Bae, K. K. Kim, S. J. Park, T. Y. Seong, and I. Adesida, Thin Solid Films, 447, 90 (2004) https://doi.org/10.1016/j.tsf.2003.09.028
- I. H. Park, J. W. Lee, and C. W. Chung, J. Korean Ind. Eng. Chem., 16, 853 (2005)
- D. R. Lide, CRC Handbook of Chemistry and Physics 81st Edition, 4-99, CRC Press, New York (2000)