IEMEK Journal of Embedded Systems and Applications (대한임베디드공학회논문지)
- Volume 2 Issue 2
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- Pages.76-81
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- 2007
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- 1975-5066(pISSN)
Design and Fabrication of a Micro Gas Sensor Using Nano Sensing Materials on Multi-layer Type Micro Platform with Low Power Consumption
마이크로 플랫폼 상에 나노 감지 재료를 이용한 저전력 NOX 센서의 설계 및 제조
- Park, Sang-Il ;
- Park, Joon-Shik ;
- Lee, Min-Ho ;
- Park, Kwang-Bum ;
- Kim, Seong-Dong ;
- Park, Hyo-Derk ;
- Lee, In-Kyu
- 박상일 (한국항공대학교 항공재료공학과, 전자부품 연구원 나노메카트로닉스연구센터) ;
- 박준식 (전자부품연구원 나노메카트 로닉스연구센터) ;
- 이민호 (전자부품연구원 나노메카트 로닉스연구센터) ;
- 박광범 (전자부품연구원 나노메카트 로닉스연구센터) ;
- 김성동 (전자부품연구원 유비쿼터스컴퓨팅 연구센터) ;
- 박효덕 (전자부품연구원 나노융합본부) ;
- 이인규 (한국항공대학교 항공재료공학과)
- Received : 2007.06.05
- Accepted : 2007.08.07
- Published : 2007.06.30
Abstract
A novel multi-layer type micro gas sensor for