대한임베디드공학회논문지 (IEMEK Journal of Embedded Systems and Applications)
- 제2권2호
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- Pages.76-81
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- 2007
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- 1975-5066(pISSN)
마이크로 플랫폼 상에 나노 감지 재료를 이용한 저전력 NOX 센서의 설계 및 제조
Design and Fabrication of a Micro Gas Sensor Using Nano Sensing Materials on Multi-layer Type Micro Platform with Low Power Consumption
- 박상일 (한국항공대학교 항공재료공학과, 전자부품 연구원 나노메카트로닉스연구센터) ;
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박준식
(전자부품연구원 나노메카트 로닉스연구센터) ;
-
이민호
(전자부품연구원 나노메카트 로닉스연구센터) ;
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박광범
(전자부품연구원 나노메카트 로닉스연구센터) ;
-
김성동
(전자부품연구원 유비쿼터스컴퓨팅 연구센터) ;
- 박효덕 (전자부품연구원 나노융합본부) ;
- 이인규 (한국항공대학교 항공재료공학과)
- Park, Sang-Il ;
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Park, Joon-Shik
;
-
Lee, Min-Ho
;
-
Park, Kwang-Bum
;
-
Kim, Seong-Dong
;
- Park, Hyo-Derk ;
- Lee, In-Kyu
- 투고 : 2007.06.05
- 심사 : 2007.08.07
- 발행 : 2007.06.30
초록
A novel multi-layer type micro gas sensor for