초록
초소형 전자칼럼을 위한 마이크로 자기장 디플렉터를 제작하여 저에너지 영역에서 디플렉터의 동작 특성을 확인하였다. 마이크로 디플렉터는 지름이 $500{\mu}m$의 원통형 코어에 감겨진 $100{\mu}m$ 지름의 Cu 코일로 구성되어 있다. 두 쌍의 디플렉터는 $10{\times}10mm$ 크기의 절연 기판에 고정되어 전자빔을 2차원 스캔할 수 있도록 고안되었다. 마이크로 자기장 디플렉터를 부착한 초소형 전자칼럼을 저전력으로 시험 구동한 결과 $100{\mu}m/A$의 편향 결과를 얻어 활용 가능성을 확인하였다.
We have fabricated a magnetic micro-deflector for a microcolumn system and tested its performance by operating it in the low energy region. The micro-deflector is composed of Cu coils around cylindrical cores with $500{\mu}m$ diameter. The diameter of the Cu coil itself is $100{\mu}m$. Two pairs of deflectors designed for a 2-dimensional scan, that is X and Y deflection, are fixed on an insulating plate. The low power performance of a magnetic micro-deflector attached to a microcolumn system has been tested and the magnitude of deflection is measured to be ${\sim}100{\mu}m/A$, which offers the possibility for practical applications of the magnetic micro-deflector.
