한국자기학회지 (Journal of the Korean Magnetics Society)

  • 제17권6호
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  • Pages.246-252
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  • 2007
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  • 1598-5385(pISSN)
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  • 2233-6648(eISSN)
한국자기학회 (The Korean Magnetics Society)
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광 CT용 자성 가넷 막의 에피택시 육성 및 평가

Epitaxial Growth and Evaluation of Magnetic Garnet Films for Optical Current Transducers

  • 조재경 (경상대학교 공과대학 전기전자공학부)
  • Cho, Jae-Kyong (Department of Electrical and Electronic Engineering, Engineering Research Institute, Gyeongsang National University)
  • 발행 : 2007.12.31
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초록

본 논문에서는 출발원료 배합비 및 육성 파라미터가 LPE(Liquid Phase Epitaxy)법으로 육성된 자성 가넷 막의 특성에 미치는 영향을 조사하며, 광 CT의 페러데이 회전자용으로서 적합한 막의 육성 조건을 제시한다. 막을 평가하기 위하여 조사한 특성은 막후, 표면 모폴로지, X선 회절, 격자상수, 막과 기판(단결정 비자성 가넷 웨이퍼)사이의 격자상수의 부정합, 페러데이 회전각 등이었다. 또한, 육성된 자성 가넷 막을 이용하여 광 CT를 제작하고, 성능을 평가했다.

This paper describes the effect of the mixing ratio of starting materials and the growth parameters of magnetic garnet films by LPE on the properties of the films and suggests the conditions to obtain the films suitable for the Faraday rotators of the optical CTs. The properties of the films investigated for the evaluation of the films were thickness, surface morphology, X-ray diffraction, lattice constant, lattice mismatch between film and substrate (single crystal nonmagnetic wafer), and Faraday rotation angle. Optical CTs have been fabricated and evaluated using the films grown.

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