Abstract
The effects of $Ga^+$ ion irradiation on the magnetic properties of the $Co_{73}Pt_{27}-TiO_2$ perpendicular magnetic recording media were investigated. As $Ga^+$ ion dose increased from $1\times10^{15}ions/cm^2\;to\;30\times10^{15}ions/cm^2$, the perpendicular magnetic anisotropy was degraded and no longer observed above $20\times10^{15}ions/cm^2$ dose. The deterioration of the perpendicular magnetic anisotropy and ferromagnetic properties can be attributed to the concentration profile change due to Ga+ ion implantation. The magnetic islands of $70\times70nm^2\;and\;100\times100nm^2$ size were successfully fabricated with $Ga^+$ ion irradiation.
[ $Co_{73}Pt_{27}-TiO_2$ ] 수직자기 기록매체에 대해 집속이온빔(FIB)을 이용한 $Ga^+$ 이온 조사에 따른 자기적 특성의 변화를 조사하였다. $Ga^+$ 이온 도즈량을 $1\times10^{15}ions/cm^2$에서 $30\times10^{15}ions/cm^2$까지 증가시켰을 때 도즈량 $20\times10^{15}ions/cm^2$ 이상에서 수직자기이방성 및 강자성 특성이 사라지는 것이 관찰되었으며, 이는 스퍼터링 효과에 따른 수직자기 기록층의 두께 감소보다는 $Ga^+$ 이온 주입에 따른 수직자기 기록매체내의 조성 분포의 변화에 따른 것으로 보인다. $Ga^+$ 이온 조사법을 이용하며 $70\times70nm^2,\;100\times100nm^2$ 크기의 자기구조체 패턴을 형성하였다.