TEM Study on the Structural and Electrical Features of Grain Boundaries in Semiconducting Oxides

TEM을 이용한 산화물 반도체 입계의 구조 및 전기적 특성 평가

  • Mun, Seon-Min (Department of Materials Science and Engineering, Inha University) ;
  • Jo, Nam-Hui (Department of Materials Science and Engineering, Inha University) ;
  • Park, Myeong-Beom (Semiconductor Business, Samsung Electronics)
  • 문선민 (인하대학교 대학원) ;
  • 조남희 (인하대학교 공과대학) ;
  • 박명범 (삼성전자 반도체총괄 메모리사업부)
  • Published : 2007.10.31