TEM 관련 이론해설(7): 투과전자현미경의 고분해능 영상이론: 결맞음 (2)

Theory of High Resolution TEM Image Formation: Coherence (2)

  • 이확주 (한국표준과학연구원 물질량 표준연구부)
  • Lee, Hwack-Joo (New Materials Evaluation Center, Korea Research Institute of Standards and Science)
  • 발행 : 2006.03.30

초록

고분해능 TEM 영상 이론의 결맞음 조산에서의 결맞음에 관한 개념을 소개하였다. 현미경에서 부분 결맞음 파동으로 인한 transfer function과 envelope의 발생을 설명하고 현미경의 분해능과 관련된 passband와 Scherzer 초점 조건을 소개하고 결맞음 특성에 관하여 소개하였다.

In this review, the important ideas of coherence theory are introduced. The transfer function and damping envelopes of the microscope due to temporal and spatial coherence are described. The passbands and the condition of Scherzer focus are discussed in associated with the resolution of transmission electron microscope. The characterization of coherence is also described.

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참고문헌

  1. Barnett ME: Image formation in optical and electron microscopy. J Microsc 102: 1, 1974
  2. Fejes PL: Approximations for the calculation of high resolution electron microscope images of thin films. Acta Crystallogr A33: 109, 1977